Kina SiC-epitaksiprosess produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductors unike karbidbelegg gir overlegen beskyttelse for grafittdeler i SiC Epitaxy Process for prosessering av krevende halvleder- og kompositthalvledermaterialer. Resultatet er forlenget levetid for grafittkomponenter, bevaring av reaksjonsstøkiometri, inhibering av urenhetsmigrering til epitaksi- og krystallvekstapplikasjoner, noe som resulterer i økt utbytte og kvalitet.

Våre tantalkarbid-belegg (TaC) beskytter kritiske ovns- og reaktorkomponenter ved høye temperaturer (opptil 2200 °C) mot varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har et bredt spekter av grafittbehandlings- og målefunksjoner for å møte dine tilpassede krav, slik at vi kan tilby et avgiftsbelagt belegg eller fullservice, med vårt team av ekspertingeniører klare til å designe den riktige løsningen for deg og din spesifikke applikasjon .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan tilby spesielle TaC-belegg for ulike komponenter og bærere. Gjennom VeTek Semiconductors bransjeledende belegningsprosess kan TaC-belegget oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk motstand, og dermed forbedre produktkvaliteten til krystall-Tac/GaN)- og EPL-lag, og forlenge levetiden til kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystallvekstkomponenter inkludert digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle sammenstillinger inkludert resistive varmeelementer, dyser, skjermringer og loddefester, GaN og SiC epitaksiale CVD-reaktorkomponenter inkludert waferbærere, satellittbrett, dusjhoder, hetter og sokler, MOCVD-komponenter.

Hensikt:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor)-mottaker

EPI-reseptor (SiC-epitaksiprosess)

TaC-belagt satellittsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating deler Halfmoon-deler med TaC-belegg

Sammenligning av SiC-belegg og TaC-belegg:

	SiC	TaC
Hovedtrekkene	Ultra høy renhet, utmerket plasmabestandighet	Utmerket høytemperaturstabilitet (høytemperaturprosesskonformitet)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Tetthet (g/cm 3)	3.21	15
Hardhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk utvidelseskoeffisient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
applikasjon	Halvlederutstyr Keramisk jigg (fokusring, dusjhode, dummy wafer)	SiC Enkeltkrystallvekst, Epi, UV LED Utstyrsdeler

View as

CVD TaC Coating Carrier

VeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bærer er hovedsakelig designet for den epitaksiale prosessen med halvlederproduksjon. CVD TaC Coating-bærerens ultrahøye smeltepunkt, utmerket korrosjonsbestandighet og enestående termisk stabilitet bestemmer uunnværligheten til dette produktet i halvlederepitaksial prosess. Vi håper inderlig å bygge et langsiktig forretningsforhold med deg.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring er laget ved å påføre tantalkarbidbelegg på grafittdeler ved å bruke en svært avansert teknikk kalt kjemisk dampavsetning (CVD). Denne metoden er veletablert og tilbyr eksepsjonelle beleggegenskaper. Ved å bruke TaC Coating Guide Ring, kan levetiden til grafittkomponenter forlenges betydelig, bevegelsen av grafitturenheter kan undertrykkes, og SiC og AIN enkrystallkvaliteten kan opprettholdes pålitelig. Velkommen til å spørre oss.

Les mer Send forespørsel

TaC-belagt grafittsusceptor

VeTek Semiconductors TaC Coated Graphite Susceptor bruker kjemisk dampavsetning (CVD) metode for å forberede tantalkarbidbelegg på overflaten av grafittdeler. Denne prosessen er den mest modne og har de beste belegningsegenskapene. TaC Coated Graphite Susceptor kan forlenge levetiden til grafittkomponenter, hemme migrering av grafitturenheter og sikre kvaliteten på epitaksi. VeTek Semiconductor ser frem til din henvendelse.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor presenterer TaC Coating Susceptor, Med sitt eksepsjonelle TaC-belegg tilbyr denne susceptoren en rekke fordeler som skiller den fra konvensjonelle løsninger. TaC Coating Susceptor fra VeTek Semiconductor er sømløst integrert i eksisterende systemer og garanterer kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålitelige ytelse og høykvalitets TaC-belegg gir konsekvent eksepsjonelle resultater i SiC-epitaksiprosesser. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

TaC belegg rotasjonsplate

VeTek Semiconductor's TaC Coating Rotation Plate har et enestående TaC-belegg, Med sitt eksepsjonelle TaC-belegg har TaC Coating Rotation Plate bemerkelsesverdig motstand mot høye temperaturer og kjemisk treghet, som skiller den fra tradisjonelle løsninger. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser. priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

TaC beleggplate

VeTek Semiconductors TaC Coating Plate er et bemerkelsesverdig produkt som tilbyr eksepsjonelle funksjoner og fordeler. Designet med presisjon og konstruert til perfeksjon, vår TaC Coating Plate er spesielt skreddersydd for ulike bruksområder i silisiumkarbid (SiC) enkeltkrystallvekstprosesser. TaC Coating Plate sine presise dimensjoner og robuste konstruksjon gjør den enkel å integrere i eksisterende systemer, og sikrer sømløs kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålitelige ytelse og høykvalitetsbelegg bidrar til konsistente og ensartede resultater i SiC-krystallvekstapplikasjoner. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

<...2 3 4 5 6...7 >

Som en profesjonell SiC-epitaksiprosess produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar SiC-epitaksiprosess laget i Kina, kan du legge igjen en melding.