> Produkter > Tantalkarbidbelegg

Nye Produkter

Kina Tantalkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør innen tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.

Hovedproduktene er tantalkarbidbeleggdefektorring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunk etc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundenes krav.

TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.

Nøkkelfunksjoner:

Temperaturstabilitet

Ultra høy renhet

Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si

Motstand mot termisk lager

Sterk vedheft til grafitt

Konform beleggdekning

Størrelse opptil 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)

Søknader:

Waferbærer

Induktiv varmemottaker

Resistivt varmeelement

Satellitt disk

Dusjhode

Føringsring

LED Epi-mottaker

Injeksjonsdyse

Maskeringsring

Varmeskjold

Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalkarbidbelegg:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet	14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet	0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient	6,3 10-6/K
Hardhet (HK)	2000 HK
Motstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafittstørrelsen endres	-10~-20um
Beleggtykkelse	≥20um typisk verdi (35um±10um)

TaC-belegg EDX-data

TaC coating EDX data

TaC belegg krystallstruktur data

Element	Atomprosent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gjennomsnittlig
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC-belagt plate TaC belegg rotasjonsplate TaC belegg susceptor CVD TaC belegg Deksel CVD TaC beleggring TaC beleggplate

View as

TaC-belagt Chuck

Som en profesjonell TaC Coated Chuck-produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck spesielt designet for halvlederovner. Med sin høye temperaturbestandighet, kjemiske treghet og utmerkede ytelse, gir Vetek Semiconductors innovative teknologi en pålitelig løsning for halvlederproduksjonsindustrien for å sikre produksjonsstandarder av høy kvalitet. Vi tror at produktene våre kan gi deg avansert teknologi og høykvalitets produktløsninger.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Tube

Som en profesjonell TaC Coating Tube produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductors TaC coating tube en nøkkelkomponent for vellykket vekst av silisiumkarbid enkeltkrystaller. Med sin høye temperaturbestandighet, kjemiske treghet og utmerkede ytelse, sikrer den produksjon av høykvalitetskrystaller med konsistente resultater. Stol på våre innovative løsninger for å forbedre PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen og oppnå utmerkede resultater. Velkommen til å spørre oss.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Heater

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av TaC Coating Heater i Kina. Dette produktet har et ekstremt høyt smeltepunkt (ca. 3880°C). Det høye smeltepunktet til TaC Coating Heater gjør det mulig å operere ved ekstremt høye temperaturer, spesielt i veksten av galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i prosessen med metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD). VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

CVD TAC belegg

VeTek Semiconductor er en ledende produsent, innovatør og leder av CVD TAC Coating i Kina. I mange år har vi fokusert på ulike CVD TAC Coating produkter som CVD TaC coating deksel, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier, etc. VeTek Semiconductor støtter tilpassede produkttjenester og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Reservedel

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av TaC Coating Plate og andre TaC Coating reservedeler i Kina. TaC Coating brukes i dag hovedsakelig i prosesser som silisiumkarbid enkrystallvekst (PVT-metoden), epitaksialskive (inkludert silisiumkarbidepitaksi, LED-epitaksi), etc. Kombinert med den gode langtidsstabiliteten til TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate har blitt standarden for TaC Coating reservedeler. Vi ser frem til at du blir vår langsiktige partner.

Les mer Send forespørsel

GaN på SiC epi-akseptor

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av GaN på SiC epi susceptor, CVD SiC belegg og CVD TAC COATING grafitt susceptor i Kina. Blant dem spiller GaN på SiC epi-susceptor en viktig rolle i halvlederbehandling. Gjennom sin utmerkede termiske ledningsevne, høytemperaturbehandlingsevne og kjemiske stabilitet, sikrer den høy effektivitet og materialkvalitet til GaN epitaksial vekstprosessen. Vi ser frem til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

<1 2 3 4 5...7 >

Som en profesjonell Tantalkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Tantalkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.