VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.
VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:
• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller
SiC Cantilever Paddle SiC prosessrør Silisiumkarbid prosessrør SiC vertikal waferbåt SiC horisontal oblatbåt SiC horizontals quare wafer båt SiC LPCVD wafer båt SiC horisontal platebåt SiC rund wafer båt
Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:
Fokusringer
Dyser
Skjold
Dusjhoder
Vinduer / lokk
Andre tilpassede komponenter
VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.
• Diffusorer
• Isolatorer
• Susceptorer
• Andre tilpassede termiske komponenter
Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
Eiendom | Typisk verdi |
Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
SiC / SiC innhold | > 99,96 % |
Si / Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
Romvekt | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
Kompresjonsstyrke | > 600 MPa |
Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastisk modul | 240 GPa |
Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt godt |
VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av High Purity SiC Cantilever Paddle i Kina. High Purity SiC Cantilever Paddles brukes ofte i halvlederdiffusjonsovner som waferoverførings- eller lasteplattformer. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselSom en profesjonell Vertical Column Wafer Boat & Pedestal-produsent og leverandør i Kina, er Vetek Semiconductor's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal laget av høyrent kvarts- eller silisiumkarbonkeramiske (SiC) materialer, med utmerket motstand mot høye temperaturer, kjemisk stabilitet og mekanisk styrke , og er en uunnværlig kjernekomponent i halvlederproduksjonsprosessen. Velkommen til din videre konsultasjon.
Les merSend forespørselVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat er et avansert utstyr for halvlederbehandling. Produktstrukturen til Contiguous Wafer Boat er nøye utformet for å sikre effektiv prosessering og produksjon av presisjonswafere. Vetek Semiconductor er forpliktet til å tilby utmerket teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell kinesisk produsent av Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base og TaC Coated Graphite Base. VeTek Semiconductors Silicon On Insulator Wafer er et viktig halvledersubstratmateriale, og dets utmerkede produktegenskaper gjør at det spiller en nøkkelrolle i høyytelses-, laveffekt-, høyintegrerings- og RF-applikasjoner. Vi ser frem til videre samarbeid med deg.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør av TaC-belagt styrering, horisontal SiC-waferbærer og SiC-belagte susceptorer i Kina. Vi er forpliktet til å tilby perfekt teknisk støtte og ultimate produktløsninger for halvlederindustrien. Velkommen til å kontakte oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors SiC Wafer Boat er et meget høyytelsesprodukt. Vår SiC Wafer Boat brukes vanligvis i halvlederoksidasjonsdiffusjonsovner for å sikre at temperaturen er jevnt fordelt på waferen og forbedre silisiumwaferbehandlingskvaliteten. Den høye temperaturstabiliteten og den høye termiske ledningsevnen til SiC-materialer sikrer effektiv og pålitelig halvlederbehandling. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel