VeTek Semiconductors SiC Wafer Boat er et meget høyytelsesprodukt. Vår SiC Wafer Boat brukes vanligvis i halvlederoksidasjonsdiffusjonsovner for å sikre at temperaturen er jevnt fordelt på waferen og forbedre silisiumwaferbehandlingskvaliteten. Den høye temperaturstabiliteten og den høye termiske ledningsevnen til SiC-materialer sikrer effektiv og pålitelig halvlederbehandling. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Følgende er introduksjonen av høykvalitets SiC Wafer Boat fra VeTek Semiconductor, i håp om å hjelpe deg bedre å forstå SiC Wafer Boat. Velkommen nye og gamle kunder til å fortsette å samarbeide med oss for å skape en bedre fremtid!
SiC horisontale firkantede waferbåter fungerer som kritiske komponenter i høytemperaturdiffusjonsprosesser, og fungerer som waferstøtter. Disse båtene spiller en viktig rolle i sikker og effektiv håndtering av delikate wafere under prosessering.
Høy temperaturstyrke: Båten må vise eksepsjonell styrke ved høye temperaturer for å tåle de tøffe miljøene med høytemperaturbehandling.
Kjemisk stabilitet ved høy temperatur: Opprettholdelse av strukturell integritet og kjemisk sammensetning under ekstreme høye temperaturforhold sikrer prosessrenhet.
Partikkelfri ytelse: Båten må være fri for partikkelgenerering eller forurensning for å ivareta kvaliteten på de behandlede skivene.
Allsidige spesifikasjoner: Vetek Semiconductor tilbyr en rekke standardspesifikasjoner og tilbyr tilpassede tjenester for å møte spesifikke krav.
Kvalitet og hastighet: Vetek Semiconductor sikrer høykvalitetsprodukter og rask levering, og tilfredsstiller kravene fra fartsfylte bransjer.
Materialekspertise: Å utnytte tett rekrystallisert silisiumkarbidmateriale garanterer overlegen ytelse og lang levetid for båtene.
Høytemperaturterskel: Vetek Semiconductor-båter har en maksimal driftstemperatur på 1600°C, egnet for de mest krevende høytemperaturprosessene.
Kostnadseffektivitet: Vetek Semiconductor-båter tilbyr et svært konkurransedyktig forhold mellom kostnad og ytelse, og gir verdi for pengene.
Holdbarhet: Med lang levetid gir Vetek Semiconductor-båter pålitelighet og konsistens i waferhåndteringsprosesser.
Vetek Semiconductor skiller seg ut i markedet for sin forpliktelse til kvalitet, tilpasningsmuligheter, materialinnovasjon, høytemperaturegenskaper, kostnadseffektivitet og lang levetid, noe som gjør det til det foretrukne valget for halvlederprodusenter globalt.
Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
Eiendom | Typisk verdi |
Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
SiC innhold | > 99,96 % |
Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
Romvekt | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
Kompresjonsstyrke | > 600 MPa |
Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastisk modul | 240 GPa |
Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt godt |