Silisiumkarbidskivebåt for horisontal ovn

Høykvalitets silisiumkarbid waferbåt for horisontal ovn tilbys av den kinesiske produsenten VeTek Semiconductor. Kjøp Silisiumkarbid wafer båt for horisontal ovn som er av høy kvalitet direkte fra fabrikk til lav pris. Silisium karbid wafer båt for horisontal ovn brukes i ovnsrør for lasting og overføring av wafere under høytemperaturbehandlinger. På grunn av de utmerkede egenskapene til silisiumkarbidmaterialer som høy temperaturbestandighet, kjemisk korrosjonsbestandighet og termisk stabilitet, er de mye brukt i forskjellige varmebehandlingsprosesser som diffusjon, oksidasjon, CVD og gløding.

Silisiumkarbid waferbåt for horisontal ovn er laget av silisiumkarbidmateriale og har følgende egenskaper:

1. Høy hardhet og slitestyrke: Silisiumkarbid har en hardhet nest etter diamant, noe som gjør den svært slitesterk. Dette gjør at silisiumkarbidbåter tåler gjentatte mekaniske støt og friksjon, og forlenger levetiden.

2. Høytemperaturmotstand: Silisiumkarbid har et smeltepunkt på 2730°C, noe som gjør silisiumkarbidbåter egnet for høytemperaturmiljøer og ulike produksjonsprosesser for halvledere, som høytemperaturoksidasjon og diffusjon.

3. Lav termisk ekspansjonskoeffisient: Silisiumkarbid har en lav termisk ekspansjonskoeffisient, som bidrar til å opprettholde dimensjonsstabilitet ved høye temperaturer, forhindrer deformasjon av båten og påvirker waferbehandlingsnøyaktigheten.

4. God kjemisk stabilitet: Silisiumkarbid er motstandsdyktig mot de fleste kjemikalier og reagerer ikke med vanlige sure og alkaliske løsninger, noe som sikrer sikkerheten og renheten til skivene.

Vi kan produsere forskjellige typer silisiumkarbid wafer båter som horisontal wafer båt, vertikal wafer båt og andre spesialtilpassede båter.

Vi bruker høyrent rekrystallisert silisiumkarbid med følgende parametere:

applikasjoner

Silisiumkarbidwaferbåt for horisontale ovner finner brede bruksområder i halvleder- og solcelleindustrien:

Wafer rengjøring og etsing

Diffusjon og oksidasjon

Galvanisering og etsing

Kjemisk mekanisk polering (CMP)

Varmebehandling

Waferoverføring og lagring

VeTek Semiconductor Production Shop