Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Silisiumkarbid Wafer Chuck

Som en ledende produsent og leverandør av Silicon Carbide Wafer Chuck-produkter i Kina, spiller VeTek Semiconductors Silicon Carbide Wafer Chuck en uerstattelig rolle i den epitaksiale vekstprosessen med sin utmerkede motstand mot høye temperaturer, kjemisk korrosjonsbestandighet og termisk sjokkbestandighet. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

Dusjhode av silisiumkarbid

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av silisiumkarbid dusjhodeprodukter i Kina. SiC dusjhode har utmerket høytemperaturtoleranse, kjemisk stabilitet, termisk ledningsevne og god gassfordelingsytelse, som kan oppnå jevn gassfordeling og forbedre filmkvaliteten. Derfor brukes det vanligvis i høytemperaturprosesser som kjemisk dampavsetning (CVD) eller fysisk dampavsetning (PVD). Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

Silisiumkarbid tetningsring

Som en profesjonell silisiumkarbid-tetningsring-produktprodusent og fabrikk i Kina, er VeTek Semiconductor Silicon Carbide-tetningsring mye brukt i halvlederbehandlingsutstyr på grunn av sin utmerkede varmebestandighet, korrosjonsbestandighet, mekaniske styrke og varmeledningsevne. Den er spesielt egnet for prosesser som involverer høytemperatur og reaktive gasser som CVD, PVD og plasmaetsing, og er et nøkkelmaterialevalg i halvlederproduksjonsprosessen. Dine ytterligere henvendelser er velkomne.

Les mer Send forespørsel

SiC-belagt waferholder

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leder av SiC-belagte waferholderprodukter i Kina. SiC-belagt waferholder er en waferholder for epitaksiprosessen i halvlederbehandling. Det er en uerstattelig enhet som stabiliserer waferen og sikrer jevn vekst av epitaksiallaget. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

Epi wafer holder

VeTek Semiconductor er en profesjonell Epi Wafer Holder-produsent og fabrikk i Kina. Epi Wafer Holder er en waferholder for epitaksiprosessen i halvlederbehandling. Det er et nøkkelverktøy for å stabilisere waferen og sikre jevn vekst av epitaksiallaget. Det er mye brukt i epitaksiutstyr som MOCVD og LPCVD. Det er en uerstattelig enhet i epitaksiprosessen. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

Aixtron satellittwaferholder

Som en profesjonell Aixtron Satellite Wafer Carrier-produktprodusent og innovatør i Kina, er VeTek Semiconductors Aixtron Satellite Wafer Carrier en wafer-bærer som brukes i AIXTRON-utstyr, hovedsakelig brukt i MOCVD-prosesser i halvlederbehandling, og er spesielt egnet for høy temperatur og høy presisjon halvlederbehandlingsprosesser. Bæreren kan gi stabil waferstøtte og jevn filmavsetning under MOCVD-epitaksial vekst, noe som er avgjørende for lagavsetningsprosessen. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

<1 2 3 4 5...11 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.