VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.
Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.
Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg | |
Eiendom | Typisk verdi |
Krystallstruktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert |
Tetthet | 3,21 g/cm³ |
Hardhet | 2500 Vickers hardhet (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kjemisk renhet | 99,99995 % |
Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av MOCVD SiC belegg susceptorer i Kina, med fokus på FoU og produksjon av SiC belegg produkter i mange år. Våre MOCVD SiC-beleggsmottakere har utmerket høytemperaturtoleranse, god varmeledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, og spiller en nøkkelrolle i å støtte og varme silisium- eller silisiumkarbidskiver (SiC) og jevn gassavsetning. Velkommen til å konsultere videre.
Les merSend forespørselSom en profesjonell halvlederprodusent og leverandør kan VeTek Semiconductor tilby en rekke grafittkomponenter som kreves for SiC epitaksiale vekstsystemer. Disse halvmånegrafittdelene med SiC-belegg er designet for gassinnløpsdelen av epitaksialreaktoren og spiller en viktig rolle i å optimalisere halvlederproduksjonsprosessen. VeTek Semiconductor streber alltid etter å gi kundene de beste kvalitetsproduktene til de mest konkurransedyktige prisene. VeTek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor Hot Zone grafittvarmer er designet for å håndtere ekstreme forhold i høytemperaturovner og opprettholde utmerket ytelse og stabilitet i komplekse prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD), epitaksial vekst og høytemperaturgløding. VeTekSemi fokuserer alltid på å produsere og levere høykvalitets Hot Zone-grafittvarmere for å sikre den beste kostnadseffektiviteten for kundene. Vi inviterer deg til å kontakte oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av VEECO MOCVD-varmerprodukter i Kina. MOCVD-varmeren har utmerket kjemisk renhet, termisk stabilitet og korrosjonsbestandighet. Det er et uunnværlig produkt i prosessen med metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD). Velkommen til dine videre henvendelser.
Les merSend forespørselSom en ledende produsent og leverandør av VEECO MOCVD Susceptor-produkter i Kina, representerer VeTek Semiconductors MOCVD Susceptor toppen av innovasjon og ingeniørmessig fortreffelighet, spesielt tilpasset for å møte de komplekse kravene til moderne halvlederproduksjonsprosesser. Velkommen videre forespørsler.
Les merSend forespørselSom en avansert SiC-forseglingsdel-produktprodusent og fabrikk i Kina. VeTek Semiconducto SiC tetningsdel er en høyytelses tetningskomponent som er mye brukt i halvlederbehandling og andre prosesser med ekstrem høy temperatur og høyt trykk. Velkommen til din videre konsultasjon.
Les merSend forespørsel