Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelegg

Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordeler vi kan gjøre:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet 3,21 g/cm³
Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
MOCVD SiC belegg susceptor

MOCVD SiC belegg susceptor

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av MOCVD SiC belegg susceptorer i Kina, med fokus på FoU og produksjon av SiC belegg produkter i mange år. Våre MOCVD SiC-beleggsmottakere har utmerket høytemperaturtoleranse, god varmeledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, og spiller en nøkkelrolle i å støtte og varme silisium- eller silisiumkarbidskiver (SiC) og jevn gassavsetning. Velkommen til å konsultere videre.

Les merSend forespørsel
SiC-belegg halvmåne grafittdeler

SiC-belegg halvmåne grafittdeler

Som en profesjonell halvlederprodusent og leverandør kan VeTek Semiconductor tilby en rekke grafittkomponenter som kreves for SiC epitaksiale vekstsystemer. Disse halvmånegrafittdelene med SiC-belegg er designet for gassinnløpsdelen av epitaksialreaktoren og spiller en viktig rolle i å optimalisere halvlederproduksjonsprosessen. VeTek Semiconductor streber alltid etter å gi kundene de beste kvalitetsproduktene til de mest konkurransedyktige prisene. VeTek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Hot Zone grafittvarmer

Hot Zone grafittvarmer

VeTek Semiconductor Hot Zone grafittvarmer er designet for å håndtere ekstreme forhold i høytemperaturovner og opprettholde utmerket ytelse og stabilitet i komplekse prosesser som kjemisk dampavsetning (CVD), epitaksial vekst og høytemperaturgløding. VeTekSemi fokuserer alltid på å produsere og levere høykvalitets Hot Zone-grafittvarmere for å sikre den beste kostnadseffektiviteten for kundene. Vi inviterer deg til å kontakte oss.

Les merSend forespørsel
VEECO MOCVD varmeapparat

VEECO MOCVD varmeapparat

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av VEECO MOCVD-varmerprodukter i Kina. MOCVD-varmeren har utmerket kjemisk renhet, termisk stabilitet og korrosjonsbestandighet. Det er et uunnværlig produkt i prosessen med metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD). Velkommen til dine videre henvendelser.

Les merSend forespørsel
VEECO MOCVD mottaker

VEECO MOCVD mottaker

Som en ledende produsent og leverandør av VEECO MOCVD Susceptor-produkter i Kina, representerer VeTek Semiconductors MOCVD Susceptor toppen av innovasjon og ingeniørmessig fortreffelighet, spesielt tilpasset for å møte de komplekse kravene til moderne halvlederproduksjonsprosesser. Velkommen videre forespørsler.

Les merSend forespørsel
SiC tetningsdel

SiC tetningsdel

Som en avansert SiC-forseglingsdel-produktprodusent og fabrikk i Kina. VeTek Semiconducto SiC tetningsdel er en høyytelses tetningskomponent som er mye brukt i halvlederbehandling og andre prosesser med ekstrem høy temperatur og høyt trykk. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les merSend forespørsel
<...23456...15>
Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept