Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC Coating Wafer Carrier

Som en profesjonell SiC belegg wafer carrier produsent og leverandør i Kina, Vetek Semiconductors SiC belegg wafer carriers brukes hovedsakelig for å forbedre vekst ensartethet av epitaksial lag, sikre deres stabilitet og integritet i høy temperatur og korrosive miljøer. Ser frem til din henvendelse.

Les mer Send forespørsel

ALD-reseptor

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av ALD Susceptor, CVD SiC-belegg, CVD TAC COATING grafittbase i Kina. Vetek Semiconductor utviklet og produserte i fellesskap SiC-belagte ALD-planetbaser med ALD-systemprodusenter for å møte de høye kravene til ALD-prosessen og jevnt fordele luftstrømmen på underlaget. Vi ser frem til videre samarbeid med deg.

Les mer Send forespørsel

CVD SiC-belagt tak

Som en profesjonell CVD SiC-belagt takprodusent og leverandør i Kina, har VeTek Semiconductors CVD SiC-belagte tak utmerkede egenskaper som høy temperaturbestandighet, korrosjonsmotstand, høy hardhet og lav termisk ekspansjonskoeffisient, noe som gjør det til et ideelt materialvalg i halvlederproduksjon. Vi ser frem til videre samarbeid med deg.

Les mer Send forespørsel

MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor i Kina. VeTek Semiconductors MOCVD LED Epi Susceptor er designet for krevende epitaksialutstyrsapplikasjoner. Dens høye varmeledningsevne, kjemiske stabilitet og holdbarhet er nøkkelfaktorer for å sikre en stabil epitaksial vekstprosess og høykvalitets halvlederfilmproduksjon. Vi ser frem til videre samarbeid med deg.

Les mer Send forespørsel

SiC belegg ALD susceptor

Som en profesjonell SiC belegg ALD susceptor produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductor sin SiC belegg ALD susceptor en støttekomponent som er spesifikt brukt i atomic layer deposition (ALD) prosessen. Det spiller en nøkkelrolle i ALD-utstyret, og sikrer ensartethet og presisjon i avsetningsprosessen. Vi tror at våre ALD Planetary Susceptor-produkter kan gi deg produktløsninger av høy kvalitet.

Les mer Send forespørsel

SiC Coating Epi mottaker

VeTek Semiconductor er en ledende produsent, innovatør og leder av SiC Coating Epi Susceptor-produkter i Kina. I mange år har vi fokusert på ulike SiC Coating produkter som SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor, etc. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederen industri. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

<1 2 3 4 5...11 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.