Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelegg

Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordeler vi kan gjøre:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet 3,21 g/cm³
Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Grafittring med høy renhet

Grafittring med høy renhet

Grafittring med høy renhet er egnet for GaN epitaksiale vekstprosesser. Deres utmerkede stabilitet og overlegne ytelse har gjort dem mye brukt. VeTek Semiconductor produserer og produserer verdensledende grafittring med høy renhet for å hjelpe GaN-epitaksindustrien til å fortsette å utvikle seg. VeTekSemi ser frem til å bli din partner i Kina.

Les merSend forespørsel
CVD SiC Pannekake Susceptor

CVD SiC Pannekake Susceptor

Som en ledende produsent og innovatør av CVD SiC Pancake Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, som en skiveformet komponent designet for halvlederutstyr, er et nøkkelelement for å støtte tynne halvlederskiver under epitaksial avsetning ved høy temperatur. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby SiC Pancake Susceptor-produkter av høy kvalitet og bli din langsiktige partner i Kina til konkurransedyktige priser.

Les merSend forespørsel
SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD i Kina, og spesialiserer seg på SiC-beleggsapplikasjoner og epitaksiale halvlederprodukter for halvlederindustrien. Våre MOCVD SiC-belagte grafittsusceptorer tilbyr konkurransedyktig kvalitet og priser, og betjener markeder over hele Europa og Amerika. Vi er forpliktet til å bli din langsiktige, pålitelige partner for å fremme halvlederproduksjon.

Les merSend forespørsel
CVD SiC-belegg Epitaksi-susceptor

CVD SiC-belegg Epitaksi-susceptor

VeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor er et presisjonskonstruert verktøy designet for håndtering og prosessering av halvlederwafer. Denne SiC Coating Epitaxy Susceptor spiller en viktig rolle i å fremme veksten av tynne filmer, epilag og andre belegg, og kan nøyaktig kontrollere temperatur og materialegenskaper. Velkommen videre forespørsler.

Les merSend forespørsel
CVD SiC beleggring

CVD SiC beleggring

CVD SiC-beleggringen er en av de viktige delene av halvmånedelene. Sammen med andre deler danner det SiC epitaksiale vekstreaksjonskammer. VeTek Semiconductor er en profesjonell CVD SiC beleggring produsent og leverandør. I henhold til kundens designkrav kan vi tilby den tilsvarende CVD SiC-beleggringen til den mest konkurransedyktige prisen. VeTek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
CVD SiC Coated Barrel Susceptor

CVD SiC Coated Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av CVD SiC Coated Barrel Susceptor i Kina. Vår CVD SiC Coated Barrel Susceptor spiller en nøkkelrolle i å fremme epitaksial vekst av halvledermaterialer på wafere med sine utmerkede produktegenskaper. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les merSend forespørsel
Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept