VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.
Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.
Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg | |
Eiendom | Typisk verdi |
Krystallstruktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert |
Tetthet | 3,21 g/cm³ |
Hardhet | 2500 Vickers hardhet (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kjemisk renhet | 99,99995 % |
Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Grafittring med høy renhet er egnet for GaN epitaksiale vekstprosesser. Deres utmerkede stabilitet og overlegne ytelse har gjort dem mye brukt. VeTek Semiconductor produserer og produserer verdensledende grafittring med høy renhet for å hjelpe GaN-epitaksindustrien til å fortsette å utvikle seg. VeTekSemi ser frem til å bli din partner i Kina.
Les merSend forespørselSom en ledende produsent og innovatør av CVD SiC Pancake Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, som en skiveformet komponent designet for halvlederutstyr, er et nøkkelelement for å støtte tynne halvlederskiver under epitaksial avsetning ved høy temperatur. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby SiC Pancake Susceptor-produkter av høy kvalitet og bli din langsiktige partner i Kina til konkurransedyktige priser.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD i Kina, og spesialiserer seg på SiC-beleggsapplikasjoner og epitaksiale halvlederprodukter for halvlederindustrien. Våre MOCVD SiC-belagte grafittsusceptorer tilbyr konkurransedyktig kvalitet og priser, og betjener markeder over hele Europa og Amerika. Vi er forpliktet til å bli din langsiktige, pålitelige partner for å fremme halvlederproduksjon.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor er et presisjonskonstruert verktøy designet for håndtering og prosessering av halvlederwafer. Denne SiC Coating Epitaxy Susceptor spiller en viktig rolle i å fremme veksten av tynne filmer, epilag og andre belegg, og kan nøyaktig kontrollere temperatur og materialegenskaper. Velkommen videre forespørsler.
Les merSend forespørselCVD SiC-beleggringen er en av de viktige delene av halvmånedelene. Sammen med andre deler danner det SiC epitaksiale vekstreaksjonskammer. VeTek Semiconductor er en profesjonell CVD SiC beleggring produsent og leverandør. I henhold til kundens designkrav kan vi tilby den tilsvarende CVD SiC-beleggringen til den mest konkurransedyktige prisen. VeTek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av CVD SiC Coated Barrel Susceptor i Kina. Vår CVD SiC Coated Barrel Susceptor spiller en nøkkelrolle i å fremme epitaksial vekst av halvledermaterialer på wafere med sine utmerkede produktegenskaper. Velkommen til din videre konsultasjon.
Les merSend forespørsel