Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC-belagt pidestall

Vetek Semiconductor er profesjonell innen fremstilling av CVD SiC-belegg, TaC-belegg på grafitt og silisiumkarbidmateriale. Vi tilbyr OEM- og ODM-produkter som SiC-belagt pidestall, wafer-bærer, wafer-chuck, wafer-bærerbrett, planetarisk disk og så videre. Med 1000 klasse renrom og renseenhet kan vi gi deg produkter med urenheter under 5 ppm. Ser frem til å høre fra deg snart.

Les mer Send forespørsel

SiC Coating Innløpsring

Vetek Semiconductor utmerker seg i å samarbeide tett med kunder for å lage skreddersydde design for SiC Coating-innløpsring skreddersydd til spesifikke behov. Disse SiC Coating-innløpsringen er omhyggelig konstruert for ulike bruksområder som CVD SiC-utstyr og silisiumkarbidepitaxi. For skreddersydde SiC Coating Inlet Ring-løsninger, ikke nøl med å ta kontakt med Vetek Semiconductor for personlig assistanse.

Les mer Send forespørsel

SiC-belagt støttering

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina, som hovedsakelig produserer SiC-belagte støtteringer, CVD silisiumkarbid (SiC) belegg, tantalkarbid (TaC) belegg, bulk SiC, SiC-pulver og høyrent SiC-materialer. Vi er forpliktet til å tilby perfekt teknisk støtte og ultimate produktløsninger for halvlederindustrien, velkommen til å kontakte oss.

Les mer Send forespørsel

Wafer Chuck

Vetek Semiconductors wafer-chuck spiller sentrale roller i halvlederproduksjon, og muliggjør rask utgang av høy kvalitet. Med egen produksjon, konkurransedyktige priser og robust FoU-støtte, utmerker Vetek Semiconductor seg i OEM/ODM-tjenester for presisjonskomponenter. Ser frem til din forespørsel.

Les mer Send forespørsel

ALD Planetær Susceptor

ALD-prosess, betyr Atomic Layer Epitaxy-prosess. Vetek Semiconductor- og ALD-systemprodusenter har utviklet og produsert SiC-belagte ALD Planetary Susceptorer som oppfyller de høye kravene til ALD-prosessen for å jevnt fordele luftstrømmen over underlaget. Samtidig sikrer Vetek Semiconductors CVD SiC-belegg med høy renhet renhet i prosessen. Velkommen til å diskutere samarbeid med oss.

Les mer Send forespørsel

SiC Coating Susceptor

Vetek Semiconductor fokuserer på forskning og utvikling og industrialisering av CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Ved å ta SiC belegg susceptor som et eksempel, er produktet svært behandlet med høy presisjon, tett CVD SIC belegg, høy temperaturbestandighet og sterk korrosjonsbestandighet. En henvendelse til oss er velkommen.

Les mer Send forespørsel

<...3 4 5 6 7...11 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.