Silisiumkarbid Wafer Chuck

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck bruker de utmerkede egenskapene til silisiumkarbidmaterialer for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon, spesielt i halvlederbehandling som krever ekstremt høy presisjon og pålitelighet.

I halvlederbehandlingsprosessen,Silisiumkarbidhar utmerket høytemperaturmotstand (kan fungere stabilt ved opptil 1400°C), lav ledningsevne (SiC har en relativt lav ledningsevne, typisk 10^^-3S/m) og lav termisk ekspansjonskoeffisient (ca. 4,0 × 10^^-6/°C), som er et uunnværlig og viktig materiale, spesielt egnet for produksjon av silisiumkarbidwaferchuck.

I løpet avepitaksial vekstprosess, avsettes et tynt lag av halvledermateriale på et substrat, noe som krever absolutt stabilitet fra waferen for å sikre jevne og høykvalitets filmavsetningslag. SiC Vacuum Chuck oppnår dette ved å skape et fast, konsistent vakuumhold for å forhindre enhver bevegelse eller deformasjon av waferen.

Silisiumkarbid Wafer Chuck tilbyr også utmerket motstand mot termisk sjokk. Raske temperaturendringer er vanlig i halvlederproduksjon, og materialer som ikke tåler disse svingningene kan sprekke, bøye seg eller svikte. Silisiumkarbid har en lav termisk ekspansjonskoeffisient og kan opprettholde sin form og funksjon selv under drastiske temperaturendringer, noe som sikrer at waferen forblir sikker under epitaksiprosessen uten bevegelse eller feiljustering.

Dessutenepitaksi prosessinvolverer ofte reaktive gasser og andre etsende kjemikalier. Den kjemiske tregheten til SiC Wafer Chuck sikrer at den ikke blir påvirket av disse tøffe miljøene, opprettholder ytelsen og forlenger levetiden. Denne kjemiske holdbarheten reduserer ikke bare hyppigheten av utskifting av Wafer Chuck, men sikrer også konsistent produktytelse over flere produksjonssykluser, og bidrar til å forbedre den generelle effektiviteten og kostnadseffektiviteten til halvlederproduksjonsprosessen.

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av Silicon Carbide Wafer Chuck-produkter i Kina. Vi kan tilby ulike typer Chuck-produkter som f.eksPorøs SiC keramisk chuck, Porøs SiC Vakuum Chuck, Porøs keramisk vakuumchuckogTaC-belagt Chuck, etc. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

SEM DATA AV CVDSIC FILM KRYSTALL STRUKTUR：

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Butikker：