Porøs keramisk vakuumchuck

Som en profesjonell produsent og leverandør av porøs keramisk vakuumchuck i Kina, er Vetek Semiconductors porøse keramiske vakuumchuck laget av silisiumkarbidkeramisk (SiC) materiale, som har utmerket motstand mot høye temperaturer, kjemisk stabilitet og mekanisk styrke. Det er en uunnværlig kjernekomponent i halvlederproduksjonsprosessen. Velkommen videre forespørsler.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Vetek Semiconductor er en kinesisk produsent av Porous Ceramic Vacuum Chuck, som brukes til å fikse og holde silisiumskiver eller andre substrater ved vakuumadsorpsjon for å sikre at disse materialene ikke vil forskyve seg eller deformeres under prosessering. Vetek Semiconducto kan tilby porøse keramiske vakuumchuck-produkter med høy renhet med høy kostnadsytelse. Velkommen til å spørre.

Vetek Semiconductor tilbyr en serie utmerkede porøse keramiske vakuumchuck-produkter, spesialdesignet for å møte de strenge kravene til moderne halvlederproduksjon. Disse transportørene viser utmerket ytelse i renhet, flathet og tilpassbar gassbanekonfigurasjon.

Enestående renslighet:

Eliminering av urenheter: Hver porøs keramisk vakuumchuck sintres ved 1200°C i 1,5 time for å fjerne urenheter fullstendig og sikre at overflaten er så ren som ny.

Vakuum pakking: For å opprettholde den rene tilstanden er porøs keramisk vakuumpakke vakuumpakket for å forhindre kontaminering under lagring og transport.

Utmerket flathet:

Solid wafer-adsorpsjon: Den porøse keramiske vakuumchucken opprettholder en adsorpsjonskraft på henholdsvis -60kPa og -70kPa før og etter waferplassering, og sikrer at waferen er godt adsorbert og forhindrer at den faller av under høyhastighetsoverføring.

Presisjonsbearbeiding: Baksiden av bæreren er presisjonsmaskinert for å sikre en helt flat overflate, og opprettholder dermed en stabil vakuumforsegling og forhindrer lekkasje.

Tilpasset design:

Kundesentrert: Vetek Semiconductor jobber tett med kunder for å designe gassbanekonfigurasjoner som oppfyller deres spesifikke prosesskrav for å optimalisere effektivitet og ytelse.

Streng kvalitetstesting:

Vetek gjennomfører omfattende tester på hvert stykke porøs SiC-vakuumchuck for å sikre kvaliteten:

Oksidasjonstest: SiC Vakuum Chuck varmes raskt opp til 900°C i et oksygenfritt miljø for å simulere selve oksidasjonsprosessen. Før dette glødes bæreren ved 1100°C for å sikre optimal ytelse.

Test av metallrester: For å forhindre kontaminering varmes bæreren til en høy temperatur på 1200°C for å oppdage om det er noen metallurenheter utfelt.

Vakuum test: Ved å måle trykkforskjellen mellom den porøse SiC Vacuum Chuck med og uten wafer, blir dens vakuumforseglingsytelse strengt testet. Trykkforskjellen må kontrolleres innenfor ±2kPa.