Kina Silisiumnitrid produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor fokuserer på produksjon av silisiumnitrid og har et forsknings- og utviklingsteam bestående av senioreksperter og topp tekniske talenter. Silisiumnitridkeramikk har fordelene med hardhet, varmebestandighet, slitestyrke og korrosjonsbestandighet av generelle keramiske materialer, og har fordelene med god termisk støtmotstand, høy temperatur krypemotstand, god selvsmøring og god kjemisk stabilitet, og er mye brukt i ny energi, kjemisk industri, romfart og halvlederfelt.

Silisiumnitridmaterialene til VeTek Semiconductor har følgende fremtredende fordeler:

1. Utmerket kjemisk stabilitet

Silisiumnitridkeramikk har utmerket kjemisk stabilitet og tåler en rekke sterke syrer, alkalier og etsende gasser. I halvlederproduksjonsprosessen trenger ofte å håndtere korrosive kjemikalier, kan silisiumnitridkeramikk gi langsiktig stabil ytelsesgaranti.

2. Utmerkede mekaniske egenskaper

Silisiumnitridkeramikk har høy hardhet, utmerket trykkstyrke og slitestyrke, i stand til å motstå mekanisk stress og overflateslitasje, ikke lett å deformere eller sprekke. Denne mekaniske egenskapen gjør den meget egnet som materiale for konstruksjons- og prosessdeler i halvlederutstyr.

3. Høy temperatur stabilitet

Silisiumnitridkeramikk kan opprettholde stabilitet i høytemperaturmiljøer, ikke lett å myke opp eller smelte, og tåler høytemperaturbehandling og håndtering i halvlederproduksjonsprosessen. Dette gjør at den kan brukes i produksjonen av nøkkelkomponenter for høytemperatur-prosessutstyr, som gripere, reaksjonskammerkomponenter og så videre.

4. Utmerkede isolasjonsegenskaper

Isolasjonsegenskaper er kritiske ved produksjon av halvlederenheter. Silisiumnitridkeramikk har gode isolerende egenskaper, som effektivt kan isolere og beskytte kretskomponenter mot strømlekkasje eller elektromagnetisk interferens, noe som bidrar til å forbedre enhetens stabilitet og pålitelighet.

5. Termisk ledningsevne og termisk ledningsevne

Silisiumnitridkeramikk har høy varmeledningsevne, kan effektivt lede og spre varmen som genereres av enheten, og bidrar til å opprettholde temperaturstabiliteten til enheten i driftsprosessen. Dette er avgjørende for høyytelsesdriften til halvlederenheter.

Anvendelsene av VeTek Semiconductors silisiumnitridmaterialer i solenergi- og halvlederindustrien inkluderer hovedsakelig:

1. Elektrostatiske chucker og etsekammerkomponenter

Silisiumnitridkeramikk brukes ofte som materialer for elektrostatiske chucker og etsekammerkomponenter i halvlederproduksjon på grunn av deres utmerkede kjemiske stabilitet og høye temperaturbestandighet. Elektrostatiske chucker brukes til å fikse og stabilisere wafere eller substrater, mens etsekammerkomponenter brukes til å motstå korrosive gasser og miljøer med høy temperatur.

2. gassfordelingsplater og reflektorer

Silisiumnitridkeramikk brukes også til fremstilling av halvlederutstyr i gassfordelingsplatene og reflektorene. Gassfordelingsplater brukes til å jevnt fordele reaktive eller beskyttende gasser inn i reaksjonskammeret, mens reflektorer brukes til å optimalisere fordelingen og refleksjon av lys i reaksjonskammeret for å forbedre reaksjonseffektiviteten og jevnheten.

3. Holdere og termiske komponenter

Silisiumnitridkeramikk brukes ofte som holdere og termiske styringskomponenter i halvlederproduksjonsutstyr. Disse komponentene må ha god mekanisk styrke, slitestyrke og termisk ledningsevne for å sikre stabil utstyrsdrift og enhetsbehandlingsnøyaktighet.

4. Chemical Mechanical Polishing (CMP) pads

Silisiumnitridkeramikk er mye brukt som putemateriale i prosessen med kjemisk mekanisk polering (CMP). Den har utmerket flathet og slitestyrke, og kan gi stabil støtte under poleringsprosessen for å sikre flatheten og presisjonen til halvlederplatens overflate.