Elektronstrålefordampning er en svært effektiv og mye brukt belegningsmetode sammenlignet med motstandsoppvarming, som varmer opp fordampningsmaterialet med en elektronstråle, noe som får det til å fordampe og kondensere til en tynn film.
Les merVakuumbelegg inkluderer fordamping av filmmateriale, vakuumtransport og tynnfilmvekst. I henhold til de forskjellige fordampningsmetodene og transportprosessene for filmmateriale, kan vakuumbelegg deles inn i to kategorier: PVD og CVD.
Les merTynnfilmavsetning er avgjørende i brikkeproduksjon, og skaper mikroenheter ved å avsette filmer under 1 mikron tykk via CVD, ALD eller PVD. Disse prosessene bygger halvlederkomponenter gjennom alternerende ledende og isolerende filmer.
Les merFremstillingsprosessen for halvledere involverer åtte trinn: waferbehandling, oksidasjon, litografi, etsing, tynnfilmavsetning, sammenkobling, testing og pakking. Silisium fra sand blir behandlet til wafere, oksidert, mønstret og etset for høypresisjonskretser.
Les mer