keramisk belegg av silisiumkarbid

VeTek SemiconductorSilicon Carbide Ceramic Coating Heater er en varmeovn designet for høye temperaturer og tøffe miljøer. Den belegger et lag med silisiumkarbon keramisk belegg (SiC) på overflaten av varmeelementet for å gi utstyret utmerket varmebestandighet, korrosjonsbestandighet og termisk ledningsevne. 

Varmeapparat med keramisk belegg av silisiumkarbidbrukes hovedsakelig i vakuumbelegg (fordampning) utstyr. De vanligste metodene er PCD (Plasma Chemical Drying) og PVD (Physical vapor deposition), som er mye brukt i halvlederproduksjon og andre industriapplikasjoner med høy etterspørsel.

Kombinert med den høyytende beleggsdesignen til silisiumkarbid keramisk beleggvarmer,det kan gi en utmerket oppvarmingsløsning for høytemperaturprosesser.

Utmerket varmeledningsevne: SiC-materiale har utmerket varmeledningsevne, noe som sikrer at varmeren kan oppnå jevn varmefordeling i arbeidsområdet og redusere temperaturgradienter.

Sørg for jevn varmefordeling: Silisiumkarbid keramisk beleggvarmer bruker den høye termiske ledningsevnen til SiC-materiale for å oppnå jevn temperaturfordeling i hele oppvarmingsområdet. Dette er avgjørende for å sikre jevn varmebehandling av halvlederskiver i ulike høytemperaturprosesser som rask termisk prosessering (RTP), diffusjon og oksidasjon, og unngår produktdefekter forårsaket av lokal overoppheting eller ujevn temperatur.

Høy temperaturtoleranse: SiC-belegg gjør at varmeren tåler ekstremt høye temperaturer, typisk opp til 1600°C, egnet for ulike prosesseringsprosesser med høy temperatur.

Forbedre varmemotstanden: Fordi belegget tåler ekstremt høye temperaturer, yter det godt i prosesser som krever langvarig høytemperaturdrift. For eksempel, i prosesser for kjemisk dampavsetning (CVD) kan Silicon Carbide Ceramic Coating Heater sikre langsiktig stabil drift av utstyret ved høye temperaturer og opprettholde konsistent oppvarmingsytelse, og dermed forbedre prosessens repeterbarhet og pålitelighet.

Kjemisk korrosjonsbestandighet: SiC-belegg har ekstremt høy motstand mot sure, alkaliske og korrosive gasser, og kan forbli stabilt i lang tid i et komplekst miljø med kjemisk atmosfære, noe som forlenger levetiden til utstyret. 

Forlenge levetiden til utstyret: SiC-belegg har utmerket oksidasjonsmotstand og korrosjonsmotstand, og kan effektivt motstå kjemisk erosjon og oksidasjon ved høye temperaturer. Dette er svært kritisk i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt i et miljø som håndterer etsende gasser og kjemikalier. Den beskyttende effekten av belegget kan forlenge levetiden til varmeren betydelig og redusere hyppigheten av utstyrsutskifting og vedlikeholdskostnader.

Grunnleggende fysiske egenskaper av silisiumkarbid keramisk beleggvarmer:

VeTek Semiconductor silisiumkarbid keramisk belegg varmeovn butikker:

Oversikt over VeTek halvlederbrikkeepitaxy-industrikjeden: