Silisiumkarbid keramisk belegg

Vetek Semiconductor Silisiumkarbid keramisk belegger et høyytelses beskyttende belegg laget av ekstremt hardt og slitesterkt silisiumkarbidmateriale (SiC), som gir utmerket kjemisk korrosjonsbestandighet og høy temperaturstabilitet. Disse egenskapene er avgjørende i halvlederproduksjon, så silisiumkarbidkeramisk belegg er mye brukt på nøkkelkomponenter i halvlederproduksjonsutstyr.

Den spesifikke rollen som Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating spiller i halvlederproduksjon ersom følger:

Forbedre utstyrets holdbarhet: Silisiumkarbidkeramisk belegg gir utmerket overflatebeskyttelse for halvlederproduksjonsutstyr med sin ekstremt høye hardhet og slitestyrke. Spesielt i høytemperatur, svært korrosive prosessmiljøer, som kjemisk dampavsetning (CVD) og plasmaetsing, kan silisiumkarbidkeramisk belegg effektivt forhindre skade på utstyrsoverflaten på grunn av kjemisk erosjon eller fysisk slitasje, og dermed forlenge levetiden til utstyret betydelig. utstyret og redusere nedetid forårsaket av hyppig utskifting og vedlikehold.

Forbedre prosessrenheten: I halvlederproduksjonsprosessen kan enhver liten forurensning forårsake produktfeil. Den kjemiske tregheten til silisiumkarbid keramisk belegg gjør at det forblir stabilt under ekstreme forhold, hindrer materialet i å frigjøre partikler eller urenheter, og sikrer renheten til miljøet under prosessen. Dette er spesielt viktig for produksjonstrinn som krever høy presisjon og høy renslighet, slik som PECVD og ioneimplantasjon.

Optimaliser termisk styring: I høytemperatur-halvlederbehandling, slik som rask termisk prosessering (RTP) og oksidasjonsprosesser, muliggjør den høye termiske ledningsevnen til silisiumkarbidkeramisk belegg en jevn temperaturfordeling inne i utstyret. Dette bidrar til å redusere termisk stress og materialdeformasjon forårsaket av temperatursvingninger, og forbedrer dermed nøyaktigheten og konsistensen av produktets produksjon.

Støtte komplekst prosessmiljø: I prosesser som krever kompleks atmosfærekontroll, som ICP-etse- og PSS-etseprosesser, sikrer stabiliteten og oksidasjonsmotstanden til den keramiske silisiumkarbidbeleggvarmeren den stabile ytelsen til utstyret i langsiktig drift, og reduserer risikoen for materialdegradering eller utstyr. skade på grunn av miljøendringer.

Vetek Semiconductorfokuserer på å produsere og levere høy ytelseSilisiumkarbid keramisk belegg, og er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien.Vi håper inderlig å være din langsiktige partner i Kina.

Grunnleggende fysiske egenskaper vedSilisiumkarbid keramisk belegg:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Keramikkbelegg butikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: