VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.
Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.
Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg | |
Eiendom | Typisk verdi |
Krystallstruktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert |
Tetthet | 3,21 g/cm³ |
Hardhet | 2500 Vickers hardhet (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kjemisk renhet | 99,99995 % |
Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Velkommen til VeTek Semiconductor, din pålitelige produsent av CVD SiC-belegg. Vi er stolte av å tilby Aixtron SiC Coating Collector Top, som er ekspertkonstruert ved bruk av høyrent grafitt og har et toppmoderne CVD SiC-belegg med urenheter under 5 ppm. Ikke nøl med å kontakte oss med spørsmål eller forespørsler
Les merSend forespørselMed vår ekspertise innen produksjon av CVD SiC-belegg, presenterer VeTek Semiconductor stolt Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Denne SiC Coating Collector Botten er konstruert med høyrent grafitt og er belagt med CVD SiC, noe som sikrer urenheter under 5 ppm. Ta gjerne kontakt for mer informasjon og forespørsler.
Les merSend forespørselHos VeTek Semiconductor spesialiserer vi oss på forskning, utvikling og industrialisering av CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Et eksemplarisk produkt er SiC Coating Cover Segments Inner, som gjennomgår omfattende prosessering for å oppnå en svært presis og tett belagt CVD SiC-overflate. Dette belegget viser eksepsjonell motstand mot høye temperaturer og gir robust korrosjonsbeskyttelse. Ta gjerne kontakt for eventuelle spørsmål.
Les merSend forespørselVetek Semiconductor er dedikert til fremme og kommersialisering av CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Som en illustrasjon gjennomgår våre SiC Coating Cover-segmenter en grundig prosessering, noe som resulterer i et tett CVD SiC-belegg med eksepsjonell presisjon. Den utviser bemerkelsesverdig motstand mot høye temperaturer og gir robust beskyttelse mot korrosjon. Vi tar gjerne imot dine henvendelser.
Les merSend forespørselVetek Semiconductor fokuserer på forskning og utvikling og industrialisering av CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Med MOCVD Susceptor som et eksempel, er produktet svært behandlet med høy presisjon, tett CVD SIC-belegg, høy temperaturbestandighet og sterk korrosjonsbestandighet. En henvendelse til oss er velkommen.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en innovatør av SiC-beleggprodusenten i Kina. Pre-Heat Ring levert av VeTek Semiconductor er designet for epitaksi-prosessen. Det ensartede silisiumkarbidbelegget og avansert grafittmateriale som råmateriale sikrer konsistent avsetning og forbedrer kvaliteten og jevnheten til det epitaksiale laget. Vi ser frem til å etablere et langsiktig samarbeid med deg.
Les merSend forespørsel