Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelegg

Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordeler vi kan gjøre:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet 3,21 g/cm³
Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent, leverandør og eksportør for SiC-belagt grafittfat-susceptor for EPI. Støttet av et profesjonelt team og ledende teknologi, kan VeTek Semiconductor gi deg høy kvalitet til rimelige priser. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår for videre diskusjon.

Les merSend forespørsel
SiC-belagt grafittdigeldeflektor

SiC-belagt grafittdigeldeflektor

VeTek Semiconductor har mange års erfaring med produksjon av høykvalitets SiC-belagt grafittdeflektor. Vi har eget laboratorium for materialforskning og utvikling, kan støtte dine tilpassede design med overlegen kvalitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår for mer diskusjon.

Les merSend forespørsel
MOCVD epitaksial susceptor for 4

MOCVD epitaksial susceptor for 4" wafer

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, som er dedikert til å tilby høykvalitets MOCVD Epitaxial Susceptor for 4" Wafer. med rik bransjeerfaring og et profesjonelt team, er vi i stand til å levere eksperter og effektive løsninger til våre kunder.

Les merSend forespørsel
GaN epitaksial grafittsusceptor for G5

GaN epitaksial grafittsusceptor for G5

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, dedikert til å tilby høykvalitets GaN Epitaxial Graphite susceptor For G5. vi har etablert langsiktige og stabile partnerskap med en rekke kjente selskaper i inn- og utland, for å oppnå tillit og respekt fra våre kunder.

Les merSend forespørsel
Halvleder Susceptor Block SiC Coated

Halvleder Susceptor Block SiC Coated

VeTek Semiconductors Semiconductor-susceptorblokk SiC-belagt er en svært pålitelig og holdbar enhet. Den er designet for å tåle høye temperaturer og tøffe kjemiske miljøer samtidig som den opprettholder stabil ytelse og lang levetid. Med sine utmerkede prosessegenskaper reduserer Semiconductor Susceptor Block SiC Coated frekvensen av utskifting og vedlikehold, og forbedrer dermed produksjonseffektiviteten. Vi ser frem til muligheten til å samarbeide med deg.

Les merSend forespørsel
SiC-belagt MOCVD Susceptor

SiC-belagt MOCVD Susceptor

VeTek Semiconductors SiC Coated MOCVD Susceptor er en enhet med utmerket prosess, holdbarhet og pålitelighet. De tåler høye temperaturer og kjemiske miljøer, opprettholder stabil ytelse og lang levetid, og reduserer dermed hyppigheten av utskifting og vedlikehold og forbedrer produksjonseffektiviteten. Vår MOCVD Epitaxial Susceptor er kjent for sin høye tetthet, utmerkede flathet og utmerket termisk kontroll, noe som gjør den til det foretrukne utstyret i tøffe produksjonsmiljøer. Ser frem til å samarbeide med deg.

Les merSend forespørsel
Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept