VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.
Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.
Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg | |
Eiendom | Typisk verdi |
Krystallstruktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert |
Tetthet | 3,21 g/cm³ |
Hardhet | 2500 Vickers hardhet (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kjemisk renhet | 99,99995 % |
Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent, leverandør og eksportør for SiC-belagt grafittfat-susceptor for EPI. Støttet av et profesjonelt team og ledende teknologi, kan VeTek Semiconductor gi deg høy kvalitet til rimelige priser. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår for videre diskusjon.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor har mange års erfaring med produksjon av høykvalitets SiC-belagt grafittdeflektor. Vi har eget laboratorium for materialforskning og utvikling, kan støtte dine tilpassede design med overlegen kvalitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår for mer diskusjon.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, som er dedikert til å tilby høykvalitets MOCVD Epitaxial Susceptor for 4" Wafer. med rik bransjeerfaring og et profesjonelt team, er vi i stand til å levere eksperter og effektive løsninger til våre kunder.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, dedikert til å tilby høykvalitets GaN Epitaxial Graphite susceptor For G5. vi har etablert langsiktige og stabile partnerskap med en rekke kjente selskaper i inn- og utland, for å oppnå tillit og respekt fra våre kunder.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors Semiconductor-susceptorblokk SiC-belagt er en svært pålitelig og holdbar enhet. Den er designet for å tåle høye temperaturer og tøffe kjemiske miljøer samtidig som den opprettholder stabil ytelse og lang levetid. Med sine utmerkede prosessegenskaper reduserer Semiconductor Susceptor Block SiC Coated frekvensen av utskifting og vedlikehold, og forbedrer dermed produksjonseffektiviteten. Vi ser frem til muligheten til å samarbeide med deg.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors SiC Coated MOCVD Susceptor er en enhet med utmerket prosess, holdbarhet og pålitelighet. De tåler høye temperaturer og kjemiske miljøer, opprettholder stabil ytelse og lang levetid, og reduserer dermed hyppigheten av utskifting og vedlikehold og forbedrer produksjonseffektiviteten. Vår MOCVD Epitaxial Susceptor er kjent for sin høye tetthet, utmerkede flathet og utmerket termisk kontroll, noe som gjør den til det foretrukne utstyret i tøffe produksjonsmiljøer. Ser frem til å samarbeide med deg.
Les merSend forespørsel