SiC Coating Susceptor

Du kan være trygg på å kjøpe SiC-beleggsmottaker fra vår fabrikk.

Som produsent av CVD SiC-belegg vil VeTek Semiconductor gjerne gi deg SiC-beleggsmottakere som er laget av grafitt med høy renhet og SiC-beleggmottaker (under 5 ppm). Velkommen til å spørre oss.

Hos Vetek Semiconductor spesialiserer vi oss på teknologisk forskning, utvikling og produksjon, og tilbyr en rekke avanserte produkter for industrien. Vår hovedproduktlinje inkluderer CVD SiC-belegg + grafitt med høy renhet, SiC-beleggssusceptor, halvlederkvarts, CVD TaC-belegg + grafitt med høy renhet, stiv filt og andre materialer.

Et av våre flaggskipprodukter er SiC Coating Susceptor, utviklet med innovativ teknologi for å møte de strenge kravene til produksjon av epitaksial wafer. Epitaksiale wafere må vise tett bølgelengdefordeling og lave overflatedefektnivåer, noe som gjør vår SiC-beleggsmottaker til en viktig komponent for å oppnå disse avgjørende parametrene.

Fordeler med vår SiC Coating Susceptor:

Basismaterialebeskyttelse: CVD SiC-belegget fungerer som et beskyttende lag under epitaksialprosessen, og beskytter effektivt basismaterialet mot erosjon og skade forårsaket av det ytre miljøet. Dette beskyttelsestiltaket forlenger levetiden til utstyret betydelig.

Utmerket termisk ledningsevne: Vårt CVD SiC-belegg har enestående termisk ledningsevne, som effektivt overfører varme fra grunnmaterialet til beleggoverflaten. Dette forbedrer termisk styringseffektivitet under epitaksi, og sikrer optimale driftstemperaturer for utstyret.

Forbedret filmkvalitet: CVD SiC-belegget gir en flat og jevn overflate, og skaper et ideelt grunnlag for filmvekst. Det reduserer defekter som følge av gittermistilpasning, forbedrer krystalliniteten og kvaliteten til epitaksialfilmen, og forbedrer til slutt dens ytelse og pålitelighet.

Velg vår SiC Coating Susceptor for dine epitaksiale wafer-produksjonsbehov, og dra nytte av forbedret beskyttelse, overlegen termisk ledningsevne og forbedret filmkvalitet. Stol på VeTek Semiconductors innovative løsninger for å drive din suksess i halvlederindustrien.

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: