Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC-belagt støtte for LPE PE2061S

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt støtte for LPE PE2061S-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr en SiC-belagt støtte for LPE PE2061S designet spesielt for LPE silisiumepitaksireaktorer. Denne SiC-belagte støtten for LPE PE2061S er bunnen av fatsusceptoren. Den tåler 1600 grader Celsius høy temperatur, forlenger produktets levetid for grafittreservedeler. Velkommen til å sende oss en forespørsel.

Les mer Send forespørsel

SiC-belagt topplate for LPE PE2061S

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt topplate for LPE PE2061S-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år.Vi tilbyr en SiC-belagt topplate for LPE PE2061S designet spesielt for LPE-silisiumepitaksireaktorer. Denne SiC-belagte toppplaten for LPE PE2061S er toppen sammen med tønnesusceptor. Denne CVD SiC-belagte platen har høy renhet, utmerket termisk stabilitet og jevnhet, noe som gjør den egnet for dyrking av epitaksiale lag av høy kvalitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår i Kina.

Les mer Send forespørsel

SiC Coated Barrel Susceptor for LPE PE2061S

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt tønnesusceptor for LPE PE2061S-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år.Vi tilbyr en SiC-belagt tønnesusceptor designet spesielt for LPE PE2061S 4'' wafere. Denne susceptoren har et slitesterkt silisiumkarbidbelegg som forbedrer ytelsen og holdbarheten under LPE-prosessen (Liquid Phase Epitaxy). Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

Solid SiC gassdusjhode

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av solid SiC gassdusjhoder i Kina. Vi har vært spesialisert på halvledermateriale i mange år. VeTek Semiconductor Solid SiC gassdusjhodes design med flere porøsitet sikrer at varmen som genereres i CVD-prosessen kan spres. , som sikrer at underlaget varmes jevnt opp. Vi ser frem til å sette opp langsiktig med deg i Kina.

Les mer Send forespørsel

Kjemisk dampavsetningsprosess Solid SiC kantring

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av solid SiC-kantring i kjemisk dampavsetningsprosess i Kina. Vi har vært spesialisert på halvledermateriale i mange år. VeTek Semiconductor solid SiC-kantring gir forbedret etsningsuniformitet og presis waferposisjonering når den brukes med en elektrostatisk chuck , som sikrer konsistente og pålitelige etseresultater. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Solid SiC Etching Fokusering Ring

VeTek Semiconductor er en ledende Solid SiC Etching Focusing Ring-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-materiale i mange år. Solid SiC er valgt som et fokuseringsmateriale på grunn av sin utmerkede termokjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasma erosjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

<...7 8 9 10 11 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.