VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.
Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.
Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg | |
Eiendom | Typisk verdi |
Krystallstruktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert |
Tetthet | 3,21 g/cm³ |
Hardhet | 2500 Vickers hardhet (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kjemisk renhet | 99,99995 % |
Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor fokuserer på forskning og utvikling og industrialisering av CVD-SiC bulkkilder, CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Ved å ta CVD SiC-blokk for SiC Crystal Growth som et eksempel, er produktbehandlingsteknologien avansert, veksthastigheten er rask, høy temperaturbestandighet og korrosjonsmotstanden er sterk. Velkommen til å spørre.
Les merSend forespørselVetek Semiconductors silisiumkarbid (SiC) med ultrahøy renhet dannet ved kjemisk dampavsetning (CVD) kan brukes som kildemateriale for dyrking av silisiumkarbidkrystaller ved fysisk damptransport (PVT). I SiC Crystal Growth New Technology blir kildematerialet lastet inn i en digel og sublimert på en frøkrystall. Bruk de kasserte CVD-SiC-blokkene til å resirkulere materialet som en kilde for dyrking av SiC-krystaller. Velkommen til å etablere et samarbeid med oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende CVD SiC-dusjhodeprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-materiale i mange år.CVD SiC-dusjhode er valgt som et fokuseringsmateriale på grunn av dets utmerkede termokjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasmaerosjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en ledende SiC-dusjhodeprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-materiale i mange år.SiC-dusjhode er valgt som et fokuseringsmateriale på grunn av dets utmerkede termokjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasmaerosjon .Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor, en ledende produsent av CVD SiC-belegg, tilbyr SiC Coating Set Disc i Aixtron MOCVD-reaktorer. Disse SiC Coating Set-platene er laget av grafitt med høy renhet og har et CVD SiC-belegg med urenheter under 5 ppm. Vi tar gjerne imot henvendelser om dette produktet.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor, en anerkjent CVD SiC-beleggprodusent, gir deg det banebrytende SiC Coating Collector Center i Aixtron G5 MOCVD-systemet. Disse SiC Coating Collector Center er omhyggelig utformet med grafitt med høy renhet og har et avansert CVD SiC-belegg, som sikrer høy temperaturstabilitet, korrosjonsbestandighet, høy renhet. Ser frem til å samarbeide med deg!
Les merSend forespørsel