Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelegg

Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordeler vi kan gjøre:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet 3,21 g/cm³
Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
CVD SiC Block for SiC Crystal Growth

CVD SiC Block for SiC Crystal Growth

VeTek Semiconductor fokuserer på forskning og utvikling og industrialisering av CVD-SiC bulkkilder, CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Ved å ta CVD SiC-blokk for SiC Crystal Growth som et eksempel, er produktbehandlingsteknologien avansert, veksthastigheten er rask, høy temperaturbestandighet og korrosjonsmotstanden er sterk. Velkommen til å spørre.

Les merSend forespørsel
SiC Crystal Growth Ny teknologi

SiC Crystal Growth Ny teknologi

Vetek Semiconductors silisiumkarbid (SiC) med ultrahøy renhet dannet ved kjemisk dampavsetning (CVD) kan brukes som kildemateriale for dyrking av silisiumkarbidkrystaller ved fysisk damptransport (PVT). I SiC Crystal Growth New Technology blir kildematerialet lastet inn i en digel og sublimert på en frøkrystall. Bruk de kasserte CVD-SiC-blokkene til å resirkulere materialet som en kilde for dyrking av SiC-krystaller. Velkommen til å etablere et samarbeid med oss.

Les merSend forespørsel
CVD SiC Dusjhode

CVD SiC Dusjhode

VeTek Semiconductor er en ledende CVD SiC-dusjhodeprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-materiale i mange år.CVD SiC-dusjhode er valgt som et fokuseringsmateriale på grunn av dets utmerkede termokjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasmaerosjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
SiC Dusjhode

SiC Dusjhode

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-dusjhodeprodusent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-materiale i mange år.SiC-dusjhode er valgt som et fokuseringsmateriale på grunn av dets utmerkede termokjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasmaerosjon .Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
SiC Coating Sett Disc

SiC Coating Sett Disc

VeTek Semiconductor, en ledende produsent av CVD SiC-belegg, tilbyr SiC Coating Set Disc i Aixtron MOCVD-reaktorer. Disse SiC Coating Set-platene er laget av grafitt med høy renhet og har et CVD SiC-belegg med urenheter under 5 ppm. Vi tar gjerne imot henvendelser om dette produktet.

Les merSend forespørsel
SiC Coating Collector Center

SiC Coating Collector Center

VeTek Semiconductor, en anerkjent CVD SiC-beleggprodusent, gir deg det banebrytende SiC Coating Collector Center i Aixtron G5 MOCVD-systemet. Disse SiC Coating Collector Center er omhyggelig utformet med grafitt med høy renhet og har et avansert CVD SiC-belegg, som sikrer høy temperaturstabilitet, korrosjonsbestandighet, høy renhet. Ser frem til å samarbeide med deg!

Les merSend forespørsel
<...89101112...15>
Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept