Kina Silisiumkarbidbelegg produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.

Våre belegg med høy renhet er først og fremst rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.

Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordeler vi kan gjøre:

Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Wafer Lift Pin

VeTek Semiconductor er en ledende EPI Wafer Lift Pin-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-belegg på overflaten av grafitt i mange år. Vi tilbyr en EPI Wafer Lift Pin for Epi-prosessen. Med høy kvalitet og konkurransedyktig pris ønsker vi deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

SiC Coated Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor tilbyr et omfattende sett med komponentløsninger for LPE silisiumepitaksi-reaksjonskamre, som gir lang levetid, stabil kvalitet og forbedret epitaksiallagsutbytte. Vårt produkt som SiC Coated Barrel Susceptor fikk tilbakemeldinger fra kunder. Vi tilbyr også teknisk støtte for Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy og mer. Spør gjerne for prisinformasjon.

Les mer Send forespørsel

Hvis EPI-mottakeren

VeTek Semiconductor er en fabrikk som kombinerer presisjonsmaskinering og halvleder SiC- og TaC-belegg. Tønnetypen Si Epi Susceptor gir temperatur- og atmosfærekontrollfunksjoner, og forbedrer produksjonseffektiviteten i epitaksiale halvledere vekstprosesser. Ser frem til å etablere samarbeidsforhold med deg.

Les mer Send forespørsel

SiC-belagt Epi-reseptor

Som den beste innenlandske produsenten av silisiumkarbid- og tantalkarbidbelegg, er VeTek Semiconductor i stand til å gi presisjonsmaskinering og jevn belegging av SiC Coated Epi Susceptor, som effektivt kontrollerer renheten til belegget og produktet under 5 ppm. Produktets levetid er sammenlignbar med SGL. Velkommen til å spørre oss.

Les mer Send forespørsel

LPE SI EPI Reseptorsett

VeTek Semiconductor er en ledende LPE Si Epi Susceptor Set-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-belegg og TaC-belegg i mange år. Vi tilbyr et LPE Si Epi Susceptor-sett designet spesielt for LPE PE2061S 4'' wafere. Tilsvarende grad av grafittmateriale og SiC-belegg er god, jevnheten er utmerket og levetiden er lang, noe som kan forbedre utbyttet av epitaksial lagvekst under LPE-prosessen (Liquid Phase Epitaxy). Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken vår i Kina.

Les mer Send forespørsel

Aixtron G5 MOCVD Susceptorer

VeTek Semiconductor er en ledende Aixtron G5 MOCVD Susceptor-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr Aixtron G5 MOCVD Susceptorer designet spesielt for Aixtron G5 MOCVD-reaktorer. Dette Aixtron G5 MOCVD Susceptors-settet er en allsidig og effektiv løsning for halvlederproduksjon med sin optimale størrelse, kompatibilitet og høye produktivitet. Velkommen til å spørre oss.

Les mer Send forespørsel

<...6 7 8 9 10...11 >

Som en profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du legge igjen en melding.