Hvis EPI-mottakeren

Følgende er introduksjonen av høykvalitets Si Epi Susceptor, i håp om å hjelpe deg bedre å forstå Barrel Type Si Epi Susceptor. Velkommen nye og gamle kunder til å fortsette å samarbeide med oss ​​for å skape en bedre fremtid!

En epitaksial reaktor er en spesialisert enhet som brukes til epitaksial vekst i halvlederproduksjon. Barrel Type Si Epi Susceptor gir et miljø som kontrollerer temperatur, atmosfære og andre nøkkelparametere for å avsette nye krystalllag på waferoverflaten.

Den største fordelen med Barrel Type Si Epi Susceptor er dens evne til å behandle flere brikker samtidig, noe som øker produksjonseffektiviteten. Den har vanligvis flere fester eller klemmer for å holde flere wafere slik at flere wafere kan dyrkes samtidig i samme vekstsyklus. Denne funksjonen med høy gjennomstrømning reduserer produksjonssykluser og kostnader og forbedrer produksjonseffektiviteten.

I tillegg tilbyr Barrel Type Si Epi Susceptor optimert temperatur- og atmosfærekontroll. Den er utstyrt med et avansert temperaturkontrollsystem som er i stand til å nøyaktig kontrollere og opprettholde ønsket veksttemperatur. Samtidig gir det god atmosfærekontroll, og sikrer at hver brikke dyrkes under de samme atmosfæreforholdene. Dette bidrar til å oppnå jevn epitaksial lagvekst og forbedre kvaliteten og konsistensen til epitaksiallaget.

I Barrel Type Si Epi Susceptor oppnår brikken vanligvis jevn temperaturfordeling og varmeoverføring gjennom luftstrøm eller væskestrøm. Denne jevne temperaturfordelingen hjelper til med å unngå dannelse av varme flekker og temperaturgradienter, og forbedrer dermed jevnheten til det epitaksiale laget.

En annen fordel er at Barrel Type Si Epi Susceptor gir fleksibilitet og skalerbarhet. Den kan justeres og optimaliseres for ulike epitaksiale materialer, sponstørrelser og vekstparametere. Dette gjør det mulig for forskere og ingeniører å gjennomføre rask prosessutvikling og optimalisering for å møte epitaksiale vekstbehov for ulike applikasjoner og krav.

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

VeTek Semiconductor Production Shop

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: