Hjem > Produkter > Silisiumkarbidbelegg > Silisium epitaksi > SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere
SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere
  • SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' WafereSiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere
  • SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' WafereSiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere

SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafere

VeTek Semiconductor er en ledende SiC-belagt pannekake-susceptor for LPE PE3061S 6'' wafere-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SiC-beleggmateriale i mange år. Vi tilbyr en SiC-belagt pannekake-susceptor designet spesielt for LPE PE3061S 6-tommers wafere . Denne epitaksiale susceptoren har høy korrosjonsmotstand, god varmeledningsytelse, god uniformitet. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

Som den profesjonelle produsenten vil VeTek Semiconductor gjerne gi deg høykvalitets SiC-belagt pannekakesusceptor for LPE PE3061S 6'' wafere.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6" wafere er et kritisk utstyr som brukes i halvlederproduksjonsprosesser.


SiC-belagt pannekakesusceptor for LPE PE3061S 6" wafere Produktegenskaper:

Høytemperaturstabilitet: SiC viser utmerket høytemperaturstabilitet, og opprettholder sin struktur og ytelse i høytemperaturmiljøer.

Enestående varmeledningsevne: SiC har eksepsjonell varmeledningsevne, som muliggjør rask og jevn varmeoverføring for rask og jevn oppvarming.

Korrosjonsbestandighet: SiC har utmerket kjemisk stabilitet, motstår korrosjon og oksidasjon i ulike oppvarmingsmiljøer.

Ensartet oppvarmingsfordeling: SiC-belagt waferbærer gir jevn varmefordeling, og sikrer jevn temperatur over overflaten av waferen under oppvarming.

Egnet for halvlederproduksjon: Si-epitaksi-waferbærer er mye brukt i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt for Si-epitaksivekst og andre høytemperaturoppvarmingsprosesser.


Produktfordeler:

Forbedret produksjonseffektivitet: SiC-belagt pannekake susceptor muliggjør rask og jevn oppvarming, reduserer oppvarmingstiden og forbedrer produksjonseffektiviteten.

Garantert produktkvalitet: Ensartet oppvarmingsfordeling sikrer konsistens under waferbehandling, noe som fører til forbedret produktkvalitet.

Forlenget utstyrslevetid: SiC-materiale gir utmerket varmebestandighet og kjemisk stabilitet, noe som bidrar til en lengre levetid for pannekakemottakeren.

Tilpassede løsninger: SiC-belagt susceptor, Si-epitaxy wafer-bærer kan skreddersys til forskjellige størrelser og spesifikasjoner basert på kundens krav.


SEM data and structure of CVD SIC films


Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet 3,21 g/cm³
Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1


VeTek Semiconductor Production Shop

VeTek Semiconductor Production Shop


Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: SiC Coated Pancake Susceptor for LPE PE3061S 6'' Wafers, Kina, produsent, leverandør, fabrikk, tilpasset, kjøp, avansert, slitesterk, laget i Kina
Relatert kategori
Send forespørsel
Gi gjerne din forespørsel i skjemaet nedenfor. Vi svarer deg innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept