ALD-reseptor

Som en profesjonellALD-mottakerprodusent i Kina, vårt produktALD-mottakerSelskapets nøyaktige temperaturkontroll, jevn gassfordeling og utmerket varmeledningsevne og andre produktegenskaper bestemmer detALD-mottakerspiller en avgjørende rolle i prosessen med atomlagavsetning (ALD). Viktig rolle, velkommen din konsultasjon.

Ensartet tynnfilmavsetning:ALD Susceptor sikrer jevn avsetning av atomlag over hele waferoverflaten under prosessen med atomlagavsetning (ALD). Dens unike roterende design gjør at gasser og reaktanter kan komme i jevn kontakt med waferoverflaten, noe som resulterer i jevn filmtykkelse. Dette er avgjørende for høypresisjon halvlederproduksjon.

Forbedre avsetningskvaliteten: Ved å optimalisere temperaturkontroll og gassdistribusjon, forbedrer ALD Susceptor filmkvaliteten og ytelsen betydelig, og reduserer defekter og ujevnhet. Dette gjør den ideell for produksjon av høypresisjon halvledere og elektroniske enheter, og sikrer produktets pålitelighet og ytelse.

Støtter multi-wafer-behandling: Enkelte ALD Susceptor-design gjør at flere wafere kan behandles samtidig, noe som øker produksjonseffektiviteten. Dette er spesielt viktig for produksjonsmiljøer med høy gjennomstrømning, som er i stand til å møte behovene til storskala produksjon.

Plasser forskjellige størrelser og typer wafere:ALD Susceptorer er generelt designet for høy kompatibilitet og kan støtte forskjellige størrelser og typer wafere. Dette gjør den effektiv i en rekke produksjonsprosesser, og gir større fleksibilitet og tilpasningsevne.

Reduser produksjonskostnadene:På grunn av sin effektive gassdistribusjon og ensartede oppvarmingsevne, øker ALD Susceptor effektiviteten til avsetningsprosessen, og reduserer dermed materialavfall og produksjonskostnader. Dette bidrar ikke bare til å forbedre produksjonseffektiviteten, men reduserer også produksjonskostnadene betydelig.

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy：