CVD SiC-belegg Epitaksi-susceptor

VeTek Semiconductors CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor er et presisjonskonstruert verktøy designet for håndtering og prosessering av halvlederwafer. Denne SiC Coating Epitaxy Susceptor spiller en viktig rolle i å fremme veksten av tynne filmer, epilag og andre belegg, og kan nøyaktig kontrollere temperatur og materialegenskaper. Velkommen videre forespørsler.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor er en typeMOCVD LED Epi Suceptor, som spiller en sentral rolle i CVD-reaktoren. Som en Epi Susceptor er den ikke bare en varmekilde, men gir også en stabil støtteplattform for underlaget under avsetningsprosessen.SiC beleggkan effektivt redusere oksidasjon og forurensning av Graphite Susceptor i høytemperaturmiljøer, og dermed sikre høy renhet av det avsatte materialet.

Grunnleggendefysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom	Typisk verdi
Krystallstruktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet	3,21 g/cm³
Hardhet	2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kjemisk renhet	99,99995 %
Varmekapasitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøyning, 1300 ℃
Termisk ledningsevne	300W·m^-1·K^-1
Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaksy Susceptor Produktfordeler:

● Nøyaktig avsetning: Med CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor kan du oppnå nøyaktig kontrollert avsetning av tynne filmer og belegg for å oppnå høykvalitets og repeterbare resultater.

● Redusert forurensning: SiC-belegg minimerer risikoen for kontaminering fraEpi Suceptorbasert grafitt, som sikrer renheten til det avsatte materialet.

● VarighetSiC-belegg forbedrer oksidasjonsmotstanden og kjemisk korrosjonsbestandighet til Graphite Epitaxy Susceptor, noe som gir den lengre levetid og høyere pålitelighet.

VeTek Semiconductorer forpliktet til å tilby produkter av høy kvalitet og konkurransedyktige priser. Om det er detHvis EPI-mottakereneller High purity Graphite EPI Susceptor, vi kan møte dine behov. Vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Produktbutikker: