SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for SiC-belagt silisiumkarbid-waferbåt, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Velkommen til å besøke fabrikken vår og ha videre diskusjon om samarbeid.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTek Semiconductor er Kina produsent og leverandør som hovedsakelig produserer SiC Coated Silisium Carbide Wafer Boat med mange års erfaring. Håper å bygge forretningsforbindelser med deg. SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt brukes i halvlederdiffusjonsovner for å bære skivene for ulike høytemperaturprosesser som ioneimplantasjon, diffusjon og gløding. Det kan gi et stabilt miljø for skivene, og sikrer jevn temperatur og konsistens under behandlingen.

SiC-belagte silisiumkarbidwaferbåter har høyere varmebestandighet og kjemisk stabilitet, noe som gjør at de kan operere ved høyere temperaturer og gi lengre levetid. I tillegg har de lavere materialfordampningshastigheter og gassadsorpsjonshastigheter, noe som bidrar til å redusere virkningen av urenheter på waferbehandling.

Vi kan produsere forskjellige typer silisiumkarbid wafer båter som horisontal wafer båt, vertikal wafer båt og andre spesialtilpassede båter.

Fordeler med vårt silisiumkarbid med høy renhet:

1. Høy temperatur stabilitet

2. Kjemisk treghet

3. Lavt urenhetsinnhold

4. Termisk ledningsevne

Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid

Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid
Eiendom	Typisk verdi
Arbeidstemperatur (°C)	1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø)
SiC innhold	> 99,96 %
Gratis Si-innhold	< 0,1 %
Romvekt	2,60-2,70 g/cm3
Tilsynelatende porøsitet	< 16 %
Kompresjonsstyrke	> 600 MPa
Kald bøyestyrke	80–90 MPa (20 °C)
Varmbøyningsstyrke	90-100 MPa (1400 °C)
Termisk ekspansjon @1500°C	4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C	23 W/m•K
Elastisk modul	240 GPa
Motstand mot termisk sjokk	Ekstremt godt