VeTek Semiconductors Silicon Carbide Cantilever Paddle er en viktig komponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt egnet for diffusjonsovner eller LPCVD-ovner i høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vår Silisiumkarbid Cantilever Paddle er nøye designet og produsert med utmerket motstand mot høye temperaturer og mekanisk styrke, og kan trygt og pålitelig transportere wafere til prosessrøret under tøffe prosessforhold for ulike høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Du kan være trygg på å kjøpe skreddersydd Silisiumkarbid Cantilever Paddle fra VeTek Semiconducto. Vi ser frem til å samarbeide med deg, hvis du vil vite mer, kan du kontakte oss nå, vi vil svare deg i tide!
VeTek Semiconductors silisiumkarbid utkragende paddle er laget av høyrent silisiumkarbid og har utmerket motstand mot høye temperaturer og mekanisk styrke. Det er en uunnværlig nøkkelkomponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt i diffusjons- eller LPCVD-ovner og RTP-prosesser. Den nøyaktige utformingen og produksjonen av Silisiumkarbid Cantilever Paddle sikrer sikker plassering og overføring av wafere for å møte prosesskrav med høy presisjon.
VeTek Semiconductors Silisiumkarbid Cantilever Paddle er laget av silisiumkarbid som hovedmateriale. Silisiumkarbid har egenskapene til høy styrke og god termisk stabilitet, slik at det tåler tøffe forhold i høytemperaturprosessmiljøet til halvlederovner. En av grunnene til å velge silisiumkarbid er fordi det kan tilpasse seg høytemperaturmiljøet i halvlederovner.
Utformingen av Silicon Carbide Cantilever Paddle lar den strekke seg inn i prosessrøret i ovnen og festes godt i den ene enden utenfor røret. Denne designen sikrer at waferen som behandles forblir stabil og støttet under prosessen og minimerer interferens med det termiske miljøet i ovnen.
VeTek Semiconductor er forpliktet til å levere høykvalitets SiC cantilever padleprodukter. Våre produkter er nøye designet og produsert for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjonsprosessen. Den utmerkede ytelsen og påliteligheten til Silicon Carbide Cantilever Paddle gjør den til en uunnværlig nøkkelkomponent i halvlederindustrien. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
Eiendom | Typisk verdi |
Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
SiC innhold | > 99,96 % |
Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
Romvekt | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
Kompresjonsstyrke | > 600 MPa |
Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastisk modul | 240 GPa |
Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt godt |