Hjem > Produkter > Silisiumkarbidkeramikk

Kina Silisiumkarbidkeramikk produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.


DIFFUSJON OG LPCVD-BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:

• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller


ETSE PROSESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:

Fokusringer

Dyser

Skjold

Dusjhoder

Vinduer / lokk

Andre tilpassede komponenter


RASK TERMISK BEHANDLING OG EPITAXIAL PROSESSKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre tilpassede termiske komponenter


Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid
Eiendom Typisk verdi
Arbeidstemperatur (°C) 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø)
SiC / SiC innhold > 99,96 %
Si / Gratis Si-innhold < 0,1 %
Romvekt 2,60-2,70 g/cm3
Tilsynelatende porøsitet < 16 %
Kompresjonsstyrke > 600 MPa
Kald bøyestyrke 80–90 MPa (20 °C)
Varmbøyningsstyrke 90-100 MPa (1400 °C)
Termisk ekspansjon @1500°C 4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C 23  W/m•K
Elastisk modul 240 GPa
Motstand mot termisk sjokk Ekstremt godt


View as  
 
Silisiumkarbid waferbåt

Silisiumkarbid waferbåt

VeTek Semiconductors høyrenhet Silisiumkarbid Wafer Boat er laget av ekstremt rent silisiumkarbidmateriale med utmerket termisk stabilitet, mekanisk styrke og kjemisk motstand. Silisiumkarbidskivebåt med høy renhet brukes i varmesoner i halvlederproduksjon, spesielt i høytemperaturmiljøer, og spiller en viktig rolle i å beskytte wafere, transportere materialer og opprettholde stabile prosesser. VeTek Semiconductor vil fortsette å jobbe hardt for å innovere og forbedre ytelsen til høyrent silisiumkarbidwaferbåt for å møte de utviklende behovene til halvlederproduksjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Ultrarent silisiumkarbidpulver for krystallvekst

Ultrarent silisiumkarbidpulver for krystallvekst

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, dedikert til å tilby høykvalitets ultrarent silisiumkarbidpulver for krystallvekst. Med en renhet på opptil 99,999 % vekt og ekstremt lave urenhetsnivåer av nitrogen, bor, aluminium og andre forurensninger, er den spesielt designet for å forbedre de halvisolerende egenskapene til høyrent silisiumkarbid. Velkommen til å spørre og samarbeide med oss!

Les merSend forespørsel
Som en profesjonell Silisiumkarbidkeramikk produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidkeramikk laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept