VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.
VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:
• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller
SiC Cantilever Paddle SiC prosessrør Silisiumkarbid prosessrør SiC vertikal waferbåt SiC horisontal oblatbåt SiC horizontals quare wafer båt SiC LPCVD wafer båt SiC horisontal platebåt SiC rund wafer båt
Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:
Fokusringer
Dyser
Skjold
Dusjhoder
Vinduer / lokk
Andre tilpassede komponenter
VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.
• Diffusorer
• Isolatorer
• Susceptorer
• Andre tilpassede termiske komponenter
Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
Eiendom | Typisk verdi |
Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
SiC / SiC innhold | > 99,96 % |
Si / Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
Romvekt | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
Kompresjonsstyrke | > 600 MPa |
Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastisk modul | 240 GPa |
Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt godt |
VeTek Semiconductor leverer høyytelses SiC-prosessrør for halvlederproduksjon. Våre SiC-prosessrør utmerker seg i oksidasjons- og diffusjonsprosesser. Med overlegen kvalitet og håndverk tilbyr disse rørene høytemperaturstabilitet og termisk ledningsevne for effektiv halvlederbehandling. Vi tilbyr konkurransedyktige priser og søker å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle er et produkt med svært høy ytelse. Vår SiC Cantilever Paddle brukes vanligvis i varmebehandlingsovner for håndtering og støtte av silisiumskiver, kjemisk dampavsetning (CVD) og andre prosesseringsprosesser i halvlederproduksjonsprosesser. Den høye temperaturstabiliteten og den høye termiske ledningsevnen til SiC-materiale sikrer høy effektivitet og pålitelighet i halvlederprosesseringsprosessen. Vi er forpliktet til å tilby produkter av høy kvalitet til konkurransedyktige priser og ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for silisiumkarbid waferbåt for horisontal ovn, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Du kan være trygg på å kjøpe silisiumkarbidwaferbåten for horisontal ovn hos oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for SiC-belagt silisiumkarbid-waferbåt, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Velkommen til å besøke fabrikken vår og ha videre diskusjon om samarbeid.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors Silicon Carbide Cantilever Paddle er en viktig komponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt egnet for diffusjonsovner eller LPCVD-ovner i høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vår Silisiumkarbid Cantilever Paddle er nøye designet og produsert med utmerket motstand mot høye temperaturer og mekanisk styrke, og kan trygt og pålitelig transportere wafere til prosessrøret under tøffe prosessforhold for ulike høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier er viktige komponenter i halvlederbehandling, designet for å trygt holde og transportere delikate silisiumskiver, og spiller en nøkkelrolle i alle stadier av produksjonen. VeTek Semiconductors High Pure Silisium Carbide Wafer Carrier er nøye designet og produsert for å sikre utmerket ytelse og pålitelighet. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel