VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.
VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:
• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller
SiC Cantilever Paddle SiC prosessrør Silisiumkarbid prosessrør SiC vertikal waferbåt SiC horisontal oblatbåt SiC horizontals quare wafer båt SiC LPCVD wafer båt SiC horisontal platebåt SiC rund wafer båt
Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:
Fokusringer
Dyser
Skjold
Dusjhoder
Vinduer / lokk
Andre tilpassede komponenter
VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.
• Diffusorer
• Isolatorer
• Susceptorer
• Andre tilpassede termiske komponenter
Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
Eiendom | Typisk verdi |
Arbeidstemperatur (°C) | 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø) |
SiC / SiC innhold | > 99,96 % |
Si / Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
Romvekt | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
Kompresjonsstyrke | > 600 MPa |
Kald bøyestyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
Varmbøyningsstyrke | 90-100 MPa (1400 °C) |
Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastisk modul | 240 GPa |
Motstand mot termisk sjokk | Ekstremt godt |
VeTek Semiconductors høyrenhet Silisiumkarbid Wafer Boat er laget av ekstremt rent silisiumkarbidmateriale med utmerket termisk stabilitet, mekanisk styrke og kjemisk motstand. Silisiumkarbidskivebåt med høy renhet brukes i varmesoner i halvlederproduksjon, spesielt i høytemperaturmiljøer, og spiller en viktig rolle i å beskytte wafere, transportere materialer og opprettholde stabile prosesser. VeTek Semiconductor vil fortsette å jobbe hardt for å innovere og forbedre ytelsen til høyrent silisiumkarbidwaferbåt for å møte de utviklende behovene til halvlederproduksjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, dedikert til å tilby høykvalitets ultrarent silisiumkarbidpulver for krystallvekst. Med en renhet på opptil 99,999 % vekt og ekstremt lave urenhetsnivåer av nitrogen, bor, aluminium og andre forurensninger, er den spesielt designet for å forbedre de halvisolerende egenskapene til høyrent silisiumkarbid. Velkommen til å spørre og samarbeide med oss!
Les merSend forespørsel