Hjem > Produkter > Silisiumkarbidkeramikk

Kina Silisiumkarbidkeramikk produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.


DIFFUSJON OG LPCVD-BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:

• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller


ETSE PROSESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:

Fokusringer

Dyser

Skjold

Dusjhoder

Vinduer / lokk

Andre tilpassede komponenter


RASK TERMISK BEHANDLING OG EPITAXIAL PROSESSKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre tilpassede termiske komponenter


Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid
Eiendom Typisk verdi
Arbeidstemperatur (°C) 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø)
SiC / SiC innhold > 99,96 %
Si / Gratis Si-innhold < 0,1 %
Romvekt 2,60-2,70 g/cm3
Tilsynelatende porøsitet < 16 %
Kompresjonsstyrke > 600 MPa
Kald bøyestyrke 80–90 MPa (20 °C)
Varmbøyningsstyrke 90-100 MPa (1400 °C)
Termisk ekspansjon @1500°C 4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C 23  W/m•K
Elastisk modul 240 GPa
Motstand mot termisk sjokk Ekstremt godt


View as  
 
SiC prosessrør

SiC prosessrør

VeTek Semiconductor leverer høyytelses SiC-prosessrør for halvlederproduksjon. Våre SiC-prosessrør utmerker seg i oksidasjons- og diffusjonsprosesser. Med overlegen kvalitet og håndverk tilbyr disse rørene høytemperaturstabilitet og termisk ledningsevne for effektiv halvlederbehandling. Vi tilbyr konkurransedyktige priser og søker å være din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
SiC Cantilever Paddle

SiC Cantilever Paddle

VeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle er et produkt med svært høy ytelse. Vår SiC Cantilever Paddle brukes vanligvis i varmebehandlingsovner for håndtering og støtte av silisiumskiver, kjemisk dampavsetning (CVD) og andre prosesseringsprosesser i halvlederproduksjonsprosesser. Den høye temperaturstabiliteten og den høye termiske ledningsevnen til SiC-materiale sikrer høy effektivitet og pålitelighet i halvlederprosesseringsprosessen. Vi er forpliktet til å tilby produkter av høy kvalitet til konkurransedyktige priser og ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Silisiumkarbidskivebåt for horisontal ovn

Silisiumkarbidskivebåt for horisontal ovn

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for silisiumkarbid waferbåt for horisontal ovn, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Du kan være trygg på å kjøpe silisiumkarbidwaferbåten for horisontal ovn hos oss.

Les merSend forespørsel
SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt

SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for SiC-belagt silisiumkarbid-waferbåt, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Velkommen til å besøke fabrikken vår og ha videre diskusjon om samarbeid.

Les merSend forespørsel
Silisiumkarbid utkragende padle

Silisiumkarbid utkragende padle

VeTek Semiconductors Silicon Carbide Cantilever Paddle er en viktig komponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt egnet for diffusjonsovner eller LPCVD-ovner i høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vår Silisiumkarbid Cantilever Paddle er nøye designet og produsert med utmerket motstand mot høye temperaturer og mekanisk styrke, og kan trygt og pålitelig transportere wafere til prosessrøret under tøffe prosessforhold for ulike høytemperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
High Pure Silisium Carbide Wafer Carrier

High Pure Silisium Carbide Wafer Carrier

VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier er viktige komponenter i halvlederbehandling, designet for å trygt holde og transportere delikate silisiumskiver, og spiller en nøkkelrolle i alle stadier av produksjonen. VeTek Semiconductors High Pure Silisium Carbide Wafer Carrier er nøye designet og produsert for å sikre utmerket ytelse og pålitelighet. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les merSend forespørsel
Som en profesjonell Silisiumkarbidkeramikk produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avanserte og holdbare Silisiumkarbidkeramikk laget i Kina, kan du legge igjen en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept