CVD TaC Coating Carrier

VeTek Semiconductor er en profesjonell leder i Kina CVD TaC Coating-bærer, EPITAXY SUSCEPTOR,TaC-belagt grafittsusceptorprodusent.

Gjennom kontinuerlig prosess- og materialinnovasjonsforskning spiller Vetek Semiconductors CVD TaC-beleggsbærer en svært kritisk rolle i den epitaksiale prosessen, hovedsakelig inkludert følgende aspekter:

Underlagsbeskyttelse: CVD TaC beleggbærer gir utmerket kjemisk stabilitet og termisk stabilitet, og forhindrer effektivt høytemperatur og korrosive gasser fra å erodere substratet og den indre veggen av reaktoren, og sikrer renheten og stabiliteten til prosessmiljøet.

Thermal uniformity: Kombinert med den høye termiske ledningsevnen til CVD TaC-beleggsbæreren, sikrer det ensartet temperaturfordeling i reaktoren, optimerer krystallkvaliteten og tykkelsesensartetheten til det epitaksiale laget, og forbedrer ytelseskonsistensen til sluttproduktet.

Kontroll av partikkelforurensning: Siden CVD TaC-belagte bærere har ekstremt lave partikkelgenereringshastigheter, reduserer de glatte overflateegenskapene risikoen for partikkelforurensning betydelig, og forbedrer derved renheten og utbyttet under epitaksial vekst.

Forlenget levetid på utstyret: Kombinert med den utmerkede slitestyrken og korrosjonsmotstanden til CVD TaC-beleggsbæreren, forlenger det levetiden til reaksjonskammerkomponentene betydelig, reduserer utstyrets nedetid og vedlikeholdskostnader, og forbedrer produksjonseffektiviteten.

Ved å kombinere de ovennevnte egenskapene, forbedrer VeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bærer ikke bare påliteligheten til prosessen og kvaliteten på produktet i den epitaksiale vekstprosessen, men gir også en kostnadseffektiv løsning for halvlederproduksjon.

Tantalkarbidbelegg på mikroskopisk tverrsnitt:

Fysiske egenskaper til CVD TaC Coating Carrier:

VeTek Semiconductor CVD SiC Coating Produksjonsbutikk: