VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelagte planetariske rotasjonsskiver i Kina. Vi har vært spesialisert på keramisk belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner innen Kina.
Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive av høy kvalitet tilbys av den kinesiske produsenten VeTek Semiconductor. Kjøp tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive som er av høy kvalitet direkte til lav pris.
Den tantalkarbidbelagte planetrotasjonsskiven er et tilbehør designet for AIXTRON G10 MOCVD-systemet, med sikte på å forbedre effektiviteten og kvaliteten i halvlederproduksjon. Laget av materialer av høy kvalitet og produsert med presisjon, tilbyr den tantalkarbidbelagte planetariske rotasjonsskiven enestående ytelse og pålitelighet for metallorganiske kjemiske dampavsetningsprosesser (MOCVD).
Planetskiven er konstruert med et grafittsubstrat belagt med CVD TaC, som gir utmerket termisk stabilitet, høy renhet og motstand mot høye temperaturer.
Planetarisk disk kan tilpasses for forskjellige størrelser på halvlederskiver, og passer for ulike produksjonskrav. Dens robuste konstruksjon er spesielt designet for å tåle de krevende driftsforholdene til MOCVD-systemet, og sikrer langvarig ytelse og minimerer nedetid og vedlikeholdskostnader forbundet med waferbærere og susceptorer.
Med Planetary Disk kan AIXTRON G10 MOCVD-systemet oppnå høyere effektivitet og overlegne resultater i halvlederproduksjon. Dens eksepsjonelle termiske stabilitet, kompatibilitet med forskjellige waferstørrelser og pålitelige ytelse gjør den til et viktig verktøy for å optimalisere produksjonseffektiviteten og oppnå fremragende resultater i det utfordrende MOCVD-miljøet.
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5 Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |