Kina SiC-epitaksiprosess produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductors unike karbidbelegg gir overlegen beskyttelse for grafittdeler i SiC Epitaxy Process for prosessering av krevende halvleder- og kompositthalvledermaterialer. Resultatet er forlenget levetid for grafittkomponenter, bevaring av reaksjonsstøkiometri, inhibering av urenhetsmigrering til epitaksi- og krystallvekstapplikasjoner, noe som resulterer i økt utbytte og kvalitet.

Våre tantalkarbid-belegg (TaC) beskytter kritiske ovns- og reaktorkomponenter ved høye temperaturer (opptil 2200 °C) mot varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har et bredt spekter av grafittbehandlings- og målefunksjoner for å møte dine tilpassede krav, slik at vi kan tilby et avgiftsbelagt belegg eller fullservice, med vårt team av ekspertingeniører klare til å designe den riktige løsningen for deg og din spesifikke applikasjon .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan tilby spesielle TaC-belegg for ulike komponenter og bærere. Gjennom VeTek Semiconductors bransjeledende belegningsprosess kan TaC-belegget oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk motstand, og dermed forbedre produktkvaliteten til krystall-Tac/GaN)- og EPL-lag, og forlenge levetiden til kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystallvekstkomponenter inkludert digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle sammenstillinger inkludert resistive varmeelementer, dyser, skjermringer og loddefester, GaN og SiC epitaksiale CVD-reaktorkomponenter inkludert waferbærere, satellittbrett, dusjhoder, hetter og sokler, MOCVD-komponenter.

Hensikt:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor)-mottaker

EPI-reseptor (SiC-epitaksiprosess)

TaC-belagt satellittsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating deler Halfmoon-deler med TaC-belegg

Sammenligning av SiC-belegg og TaC-belegg:

	SiC	TaC
Hovedtrekkene	Ultra høy renhet, utmerket plasmabestandighet	Utmerket høytemperaturstabilitet (høytemperaturprosesskonformitet)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Tetthet (g/cm 3)	3.21	15
Hardhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk utvidelseskoeffisient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
applikasjon	Halvlederutstyr Keramisk jigg (fokusring, dusjhode, dummy wafer)	SiC Enkeltkrystallvekst, Epi, UV LED Utstyrsdeler

View as

TaC-belagt ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor er en ledende produsent av TaC-belagte trebladsringer og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC- og SiC-belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsbestandighet, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Tantalkarbidbelagt chuck

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelagt chuck i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet opp til 2000 ℃. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Tantalkarbidbelagt deksel

VeTek Semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbelagt deksel og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC- og SiC-belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsbestandighet, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Ultra Pure Graphite Nedre Halfmoon

VeTek Semiconductor er en ledende leverandør av tilpasset Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon i Kina, og har spesialisert seg på avanserte materialer i mange år. Vår Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon er spesielt designet for SiC epitaksielt utstyr, og sikrer utmerket ytelse. Laget av ultraren importert grafitt, gir den pålitelighet og holdbarhet. Besøk fabrikken vår i Kina for å utforske vår høykvalitets Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon førstehånds.

Les mer Send forespørsel

Øvre halvmånedel SiC-belagt

VeTek Semiconductor er en ledende leverandør av tilpasset SiC-belagt øvre halvmånedel i Kina, og har spesialisert seg på avanserte materialer i over 20 år. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC-belagt er spesielt designet for SiC epitaksielt utstyr, og fungerer som en avgjørende komponent i reaksjonskammeret. Laget av ultraren grafitt i halvlederkvalitet, sikrer den utmerket ytelse. Vi inviterer deg til å besøke fabrikken vår i Kina.

Les mer Send forespørsel

Silisiumkarbid Epitaxy Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en ledende tilpasset Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier-leverandør i Kina. Vi har vært spesialisert på avansert materiale i mer enn 20 år.Vi tilbyr en Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier for å bære SiC-substrat, voksende SiC-epitaksilag i SiC-epitaksialreaktor. Denne silisiumkarbidepitaxy wafer-bæreren er en viktig SiC-belagt del av halvmånedelen, motstand mot høy temperatur, oksidasjonsmotstand, slitestyrke. Vi ønsker deg velkommen til å besøke vår fabrikk i Kina.

Les mer Send forespørsel

<...3 4 5 6 7 >

Som en profesjonell SiC-epitaksiprosess produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar SiC-epitaksiprosess laget i Kina, kan du legge igjen en melding.