TaC-belagt ring med tre kronblad

VeTek Semiconductor er en ledende produsent av TaC-belagte trebladsringer og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC- og SiC-belegg i mange år. Våre produkter har en korrosjonsbestandighet, høy styrke. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTek Semiconductor er en profesjonell China TaC Coated Three-Peal Ring produsent og leverandør. TaC Coated Three-Peal Ring brukes i Aixtron G10-avsetningssystem for sammensatte halvledere, G10-GaN 150/200 mm høy gjennomstrømningsepitaksi for GaN kraft og RF applikasjoner.

VeTek Semiconductor TaC-belegg er en ny generasjon høytemperaturbestandig materiale, med bedre høytemperaturstabilitet enn SiC, som et korrosjonsbestandig belegg, oksidasjonsbestandig belegg, slitebestandig belegg, kan brukes i miljøet over 2000 ℃, mye brukt i romfart ultra-høy temperatur varme ende deler, tredje generasjon av halvleder enkeltkrystall vekst og andre felt.

Produktfunksjoner:

1. Høy renhet, urenhetsinnhold < 5 ppm

2. Høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, høy tetthet, høy tetthet

3. Den er kjemisk inert overfor ammoniakk, hydrogen, silan og silisium ved høy temperatur og har god termisk stabilitet.

4. Termisk sjokkmotstand, kan fremskynde operasjonssyklusen

5. Sterk grafittvedheft sikrer lang levetid og ingen delaminering av belegg.

6. Strenge dimensjonstoleranser.

Hovedapplikasjoner:

1. Epitaksial vekst

2. Enkeltkrystallvekst

3. Høy temperatur korrosjon avledning

4. Høy temperatur og oksidasjonsbestandig dyse

5. Gassturbinblader

Produktparameter for den TaC-belagte ringen med tre kronblad

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet	14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet	0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient	6,3 10-6/K
Hardhet (HK)	2000 HK
Motstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafittstørrelsen endres	-10~-20um
Beleggtykkelse	≥20um typisk verdi (35um±10um)