Kina SiC-epitaksiprosess produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductors unike karbidbelegg gir overlegen beskyttelse for grafittdeler i SiC Epitaxy Process for prosessering av krevende halvleder- og kompositthalvledermaterialer. Resultatet er forlenget levetid for grafittkomponenter, bevaring av reaksjonsstøkiometri, inhibering av urenhetsmigrering til epitaksi- og krystallvekstapplikasjoner, noe som resulterer i økt utbytte og kvalitet.

Våre tantalkarbid-belegg (TaC) beskytter kritiske ovns- og reaktorkomponenter ved høye temperaturer (opptil 2200 °C) mot varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har et bredt spekter av grafittbehandlings- og målefunksjoner for å møte dine tilpassede krav, slik at vi kan tilby et avgiftsbelagt belegg eller fullservice, med vårt team av ekspertingeniører klare til å designe den riktige løsningen for deg og din spesifikke applikasjon .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan tilby spesielle TaC-belegg for ulike komponenter og bærere. Gjennom VeTek Semiconductors bransjeledende belegningsprosess kan TaC-belegget oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk motstand, og dermed forbedre produktkvaliteten til krystall-Tac/GaN)- og EPL-lag, og forlenge levetiden til kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystallvekstkomponenter inkludert digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle sammenstillinger inkludert resistive varmeelementer, dyser, skjermringer og loddefester, GaN og SiC epitaksiale CVD-reaktorkomponenter inkludert waferbærere, satellittbrett, dusjhoder, hetter og sokler, MOCVD-komponenter.

Hensikt:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor)-mottaker

EPI-reseptor (SiC-epitaksiprosess)

TaC-belagt satellittsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating deler Halfmoon-deler med TaC-belegg

Sammenligning av SiC-belegg og TaC-belegg: