TaC Coating Pidestall Support Plate

VeTek Semiconductor er Kina produsent og leverandør som hovedsakelig produserer CVD TaC belegg susceptorer, innløpsring, Wafer Chunck, TaC belagt holder, TaC Coating Pedestal Support Plate med mange års erfaring. Håper å bygge forretningsforhold med deg.

TaC-keramikk har et smeltepunkt på opptil 3880 ℃, høy hardhet (Mohs-hardhet 9 ~ 10), stor varmeledningsevne (22W·m-1·K−1), stor bøyestyrke (340 ~ 400MPa) og liten termisk ekspansjon koeffisient (6,6×10−6K−1), og viser utmerket termokjemisk stabilitet og utmerkede fysiske egenskaper. Den har god kjemisk og mekanisk kompatibilitet med grafitt og C/C-komposittmaterialer, så TaC-belegg er mye brukt i romfarts termisk beskyttelse, enkeltkrystallvekst og epitaksiale reaktorer som Aixtron, LPE EPI-reaktor i halvlederindustrien. TaC-belagt grafitt har bedre kjemisk korrosjonsbestandighet enn bare steinblekk eller SiC-belagt grafitt, kan brukes stabilt ved 2200° høy temperatur, reagerer ikke med mange metallelementer, er tredje generasjon av halvleder-enkrystallvekst, epitaksi og wafer-etsescene av det beste ytelsesbelegget, kan forbedre prosessen med temperatur- og urenhetskontroll betydelig, Fremstilling av høykvalitets silisiumkarbidskiver og relaterte epitaksiale skiver. Det er spesielt egnet for dyrking av GaN eller AlN enkeltkrystall i MOCVD-utstyr og SiC enkeltkrystall i PVT-utstyr, og kvaliteten på enkeltkrystallen som dyrkes er åpenbart forbedret.

TaC-belegg og SiC-belegg Reservedeler vi kan gjøre:

Parameter for TaC-belegg:

Industrikjede:

Produksjonsbutikk