Kina SiC-epitaksiprosess produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductors unike karbidbelegg gir overlegen beskyttelse for grafittdeler i SiC Epitaxy Process for prosessering av krevende halvleder- og kompositthalvledermaterialer. Resultatet er forlenget levetid for grafittkomponenter, bevaring av reaksjonsstøkiometri, inhibering av urenhetsmigrering til epitaksi- og krystallvekstapplikasjoner, noe som resulterer i økt utbytte og kvalitet.

Våre tantalkarbid-belegg (TaC) beskytter kritiske ovns- og reaktorkomponenter ved høye temperaturer (opptil 2200 °C) mot varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har et bredt spekter av grafittbehandlings- og målefunksjoner for å møte dine tilpassede krav, slik at vi kan tilby et avgiftsbelagt belegg eller fullservice, med vårt team av ekspertingeniører klare til å designe den riktige løsningen for deg og din spesifikke applikasjon .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan tilby spesielle TaC-belegg for ulike komponenter og bærere. Gjennom VeTek Semiconductors bransjeledende belegningsprosess kan TaC-belegget oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk motstand, og dermed forbedre produktkvaliteten til krystall-Tac/GaN)- og EPL-lag, og forlenge levetiden til kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystallvekstkomponenter inkludert digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle sammenstillinger inkludert resistive varmeelementer, dyser, skjermringer og loddefester, GaN og SiC epitaksiale CVD-reaktorkomponenter inkludert waferbærere, satellittbrett, dusjhoder, hetter og sokler, MOCVD-komponenter.

Hensikt:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor)-mottaker

EPI-reseptor (SiC-epitaksiprosess)

TaC-belagt satellittsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating deler Halfmoon-deler med TaC-belegg

Sammenligning av SiC-belegg og TaC-belegg:

	SiC	TaC
Hovedtrekkene	Ultra høy renhet, utmerket plasmabestandighet	Utmerket høytemperaturstabilitet (høytemperaturprosesskonformitet)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Tetthet (g/cm 3)	3.21	15
Hardhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk utvidelseskoeffisient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
applikasjon	Halvlederutstyr Keramisk jigg (fokusring, dusjhode, dummy wafer)	SiC Enkeltkrystallvekst, Epi, UV LED Utstyrsdeler

View as

TaC Coating Heater

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av TaC Coating Heater i Kina. Dette produktet har et ekstremt høyt smeltepunkt (ca. 3880°C). Det høye smeltepunktet til TaC Coating Heater gjør det mulig å operere ved ekstremt høye temperaturer, spesielt i veksten av galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i prosessen med metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD). VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

TaC-belagt Chuck

Som en profesjonell TaC Coated Chuck-produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck spesielt designet for halvlederovner. Med sin høye temperaturbestandighet, kjemiske treghet og utmerkede ytelse, gir Vetek Semiconductors innovative teknologi en pålitelig løsning for halvlederproduksjonsindustrien for å sikre produksjonsstandarder av høy kvalitet. Vi tror at produktene våre kan gi deg avansert teknologi og høykvalitets produktløsninger.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Tube

Som en profesjonell TaC Coating Tube produsent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductors TaC coating tube en nøkkelkomponent for vellykket vekst av silisiumkarbid enkeltkrystaller. Med sin høye temperaturbestandighet, kjemiske treghet og utmerkede ytelse, sikrer den produksjon av høykvalitetskrystaller med konsistente resultater. Stol på våre innovative løsninger for å forbedre PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen og oppnå utmerkede resultater. Velkommen til å spørre oss.

Les mer Send forespørsel

CVD TAC belegg

VeTek Semiconductor er en ledende produsent, innovatør og leder av CVD TAC Coating i Kina. I mange år har vi fokusert på ulike CVD TAC Coating produkter som CVD TaC coating deksel, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier, etc. VeTek Semiconductor støtter tilpassede produkttjenester og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Reservedel

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av TaC Coating Plate og andre TaC Coating reservedeler i Kina. TaC Coating brukes i dag hovedsakelig i prosesser som silisiumkarbid enkrystallvekst (PVT-metoden), epitaksialskive (inkludert silisiumkarbidepitaksi, LED-epitaksi), etc. Kombinert med den gode langtidsstabiliteten til TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate har blitt standarden for TaC Coating reservedeler. Vi ser frem til at du blir vår langsiktige partner.

Les mer Send forespørsel

GaN på SiC epi-akseptor

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av GaN på SiC epi susceptor, CVD SiC belegg og CVD TAC COATING grafitt susceptor i Kina. Blant dem spiller GaN på SiC epi-susceptor en viktig rolle i halvlederbehandling. Gjennom sin utmerkede termiske ledningsevne, høytemperaturbehandlingsevne og kjemiske stabilitet, sikrer den høy effektivitet og materialkvalitet til GaN epitaksial vekstprosessen. Vi ser frem til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

<1 2 3 4 5...7 >

Som en profesjonell SiC-epitaksiprosess produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar SiC-epitaksiprosess laget i Kina, kan du legge igjen en melding.