TaC Coating Reservedel

VeTek SemiconductorTaC beleggplateer et spesielt materiale mye brukt ihalvlederproduksjonsprosess. Kombinert med høy hardhet og slitestyrke, høy temperaturbestandighet, korrosjonsmotstand, lav friksjonskoeffisient og god varmeledningsevne, spiller TaC Coating Plate en uerstattelig rolle i mange ledd i halvlederbehandling.

Generelt er applikasjonene tilTaC-belagte plateri halvlederbehandling er som følger:

CVD/ALD vekstsubstrat: Den høye temperaturbestandigheten, den kjemiske stabiliteten og den lave friksjonskoeffisienten til TaC-belagte plater gjør dem til ideelle CVD/ALD-vekstsubstrater. Det kan gi et stabilt vekstmiljø for å sikre jevnheten og tettheten til filmen.

Etse maskeplate: Den høye hardheten og korrosjonsmotstanden til TaC-belagte plater gjør dem i stand til å motstå prosesser med høy energi som plasmaetsing, som etsende maskeplater, og beskytter den underliggende filmen.

CMP poleringspute: Slitasjemotstanden og den lave friksjonskoeffisienten til TaC-belagte plater gjør dem til ideelle materialer for CMP-poleringsputer, som effektivt kan fjerne partikler og defekter på overflaten av filmen.

Høytemperatur ovnsrør: Høytemperaturmotstanden og korrosjonsmotstanden til TaC-belagte plater gjør at de kan brukes som ovnsrør i høytemperaturovner for høytemperaturgløding, diffusjon og andre prosesser.

Kombinert med produktets egenskaperTaC beleggplate, fastslår det at dette produktet spiller en uerstattelig nøkkelrolle i å forbedre enhetens ytelse, forlenge utstyrets levetid og forbedre produksjonseffektiviteten. 

Som en profesjonell produsent avGaN på SiC epi-akseptor, Porøs grafittogTaC beleggplatei Kina insisterer VeTek Semiconductor alltid på å tilby tilpassede produkttjenester, og er forpliktet til å gi industrien toppteknologi og produktløsninger. Vi ser frem til din videre konsultasjon.

CVD TAC COATING Tekniske parametere：

TaC Coating reservedelsbutikker：

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy：