TaC belegg rotasjonsplate

VeTek Semiconductors TaC-belegg rotasjonsplate har en høy renhetssammensetning, et urenhetsinnhold på mindre enn 5 ppm, og en tett og jevn struktur, som er mye brukt i LPE EPI-systemer, Aixtron-systemer, Nuflare-systemer, TEL CVD-systemer, VEECO-systemer, TSI systemer.

Utmerkede mekaniske egenskaper:

Belegghardhet opp til 2300HV, med utmerket slitestyrke.

Vedheften mellom belegget og underlaget er sterk, og det er ikke lett å falle av eller skrelle.

Belegget kan fortsatt opprettholde god strukturell stabilitet ved høy temperatur.

Utmerket korrosjonsbestandighet:

TaC-materialet i seg selv har utmerket kjemisk stabilitet og korrosjonsbestandighet.

VeTek semiconductors belegg fungerer godt i en rekke aggressive gassmiljøer.

Kan effektivt beskytte de interne komponentene i utstyret mot korrosjonsskader.

Høy overflatefinish:

VeTek semiconductor bruker en presis belegningsprosess for å produsere ønsket finish.

Lav overflateruhet bidrar til å redusere partikkelakkumulering og avsetning.

Beleggets konsistens er god:

VeTek Semiconductorhar et lydkvalitetskontrollsystem for å sikre konsistent ytelse mellom batcher.

Beleggtykkelsen er jevnt fordelt og det er ingen åpenbare lokale defekter.

Utmerket praktisk applikasjonsytelse:

VeTek semiconductors TaC-belegg er mye brukt i mange kjente produsenter av epitaksialutstyr i inn- og utland.

Produktets fysiske parameter for den TaC-belagte rotasjonsplaten: