VeTek Semiconductors TaC Coating Plate er et bemerkelsesverdig produkt som tilbyr eksepsjonelle funksjoner og fordeler. Designet med presisjon og konstruert til perfeksjon, vår TaC Coating Plate er spesielt skreddersydd for ulike bruksområder i silisiumkarbid (SiC) enkeltkrystallvekstprosesser. TaC Coating Plate sine presise dimensjoner og robuste konstruksjon gjør den enkel å integrere i eksisterende systemer, og sikrer sømløs kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålitelige ytelse og høykvalitetsbelegg bidrar til konsistente og ensartede resultater i SiC-krystallvekstapplikasjoner. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Du kan være trygg på å kjøpe TaC Coating Plate fra fabrikken vår. Vår TaC Coating Plate fungerer som en sentral del av Semiconductor Epitaxy-reaktor, som bidrar til utmerket epitaksiallagsutbytte og veksteffektivitet. Forbedre produktkvaliteten.
For produksjon av nye halvledere med tøffere og tøffere forberedelsesmiljøer, slik som fremstilling av den tredje hovedgruppen nitrid epitaksial ark (GaN) ved metall-organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD), og fremstilling av SiC epitaksiale vekstfilmer med kjemisk damp avsetning (CVD) eroderes av gasser som H2 og NH3 i høytemperaturmiljøer. SiC- og BN-beskyttende lagene på overflaten av eksisterende vekstbærere eller gasskanaler kan svikte på grunn av deres involvering i kjemiske reaksjoner, noe som påvirker kvaliteten på produkter som krystaller og halvledere negativt. Derfor er det nødvendig å finne et materiale med bedre kjemisk stabilitet og korrosjonsbestandighet som et beskyttende lag for å forbedre kvaliteten på krystaller, halvledere og andre produkter. Tantalkarbid har utmerkede fysiske og kjemiske egenskaper, på grunn av rollen til sterke kjemiske bindinger, dens høytemperatur kjemiske stabilitet og korrosjonsmotstand er mye høyere enn SiC, BN, etc., er et flott bruksutsikter for korrosjonsbestandighet, termisk stabilitet enestående belegg .
VeTek Semiconductor har avansert produksjonsutstyr og perfekt kvalitetsstyringssystem, streng prosesskontroll for å sikre TaC-belegget i partier med ytelseskonsistens, selskapet har storskala produksjonskapasitet, for å møte behovene til kunder i store mengder forsyning, perfekt kvalitetsovervåking mekanisme for å sikre kvaliteten på hvert produkt stabil og pålitelig.
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5 Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |