Kina SiC-epitaksiprosess produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductors unike karbidbelegg gir overlegen beskyttelse for grafittdeler i SiC Epitaxy Process for prosessering av krevende halvleder- og kompositthalvledermaterialer. Resultatet er forlenget levetid for grafittkomponenter, bevaring av reaksjonsstøkiometri, inhibering av urenhetsmigrering til epitaksi- og krystallvekstapplikasjoner, noe som resulterer i økt utbytte og kvalitet.

Våre tantalkarbid-belegg (TaC) beskytter kritiske ovns- og reaktorkomponenter ved høye temperaturer (opptil 2200 °C) mot varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har et bredt spekter av grafittbehandlings- og målefunksjoner for å møte dine tilpassede krav, slik at vi kan tilby et avgiftsbelagt belegg eller fullservice, med vårt team av ekspertingeniører klare til å designe den riktige løsningen for deg og din spesifikke applikasjon .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan tilby spesielle TaC-belegg for ulike komponenter og bærere. Gjennom VeTek Semiconductors bransjeledende belegningsprosess kan TaC-belegget oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk motstand, og dermed forbedre produktkvaliteten til krystall-Tac/GaN)- og EPL-lag, og forlenge levetiden til kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystallvekstkomponenter inkludert digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle sammenstillinger inkludert resistive varmeelementer, dyser, skjermringer og loddefester, GaN og SiC epitaksiale CVD-reaktorkomponenter inkludert waferbærere, satellittbrett, dusjhoder, hetter og sokler, MOCVD-komponenter.

Hensikt:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor)-mottaker

EPI-reseptor (SiC-epitaksiprosess)

TaC-belagt satellittsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating deler Halfmoon-deler med TaC-belegg

Sammenligning av SiC-belegg og TaC-belegg:

	SiC	TaC
Hovedtrekkene	Ultra høy renhet, utmerket plasmabestandighet	Utmerket høytemperaturstabilitet (høytemperaturprosesskonformitet)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Tetthet (g/cm 3)	3.21	15
Hardhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk utvidelseskoeffisient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
applikasjon	Halvlederutstyr Keramisk jigg (fokusring, dusjhode, dummy wafer)	SiC Enkeltkrystallvekst, Epi, UV LED Utstyrsdeler

View as

Tantalkarbidring

Som en avansert produsent og produsent av Tantalkarbidringprodukter i Kina, har VeTek Semiconductor Tantalkarbidring ekstremt høy hardhet, slitestyrke, høy temperaturbestandighet og kjemisk stabilitet, og er mye brukt i halvlederproduksjonsfeltet. Spesielt i CVD, PVD, ioneimplantasjonsprosess, etseprosess og waferbehandling og transport, er det et uunnværlig produkt for halvlederbehandling og produksjon. Ser frem til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

Støtte for belegg av tantalkarbid

Som en profesjonell Tantalum Carbide Coating Support-produktprodusent og fabrikk i Kina, brukes VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support vanligvis til overflatebelegging av strukturelle komponenter eller støttekomponenter i halvlederutstyr, spesielt for overflatebeskyttelse av nøkkelutstyrskomponenter i halvlederproduksjonsprosesser som f.eks. CVD og PVD. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

Tantalkarbid guidering

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leder av Tantalum Carbide Guide Ring-produkter i Kina. Vår tantalkarbid (TaC) guidering er en høyytelses ringkomponent laget av tantalkarbid, som vanligvis brukes i halvlederbehandlingsutstyr, spesielt i høytemperatur og sterkt korrosive miljøer som CVD, PVD, etsing og diffusjon. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien, og tar gjerne imot dine ytterligere henvendelser.

Les mer Send forespørsel

TaC Coating Rotasjons Susceptor

Som en profesjonell produsent, innovatør og leder av TaC Coating Rotation Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor er vanligvis installert i utstyr for kjemisk dampavsetning (CVD) og molekylærstråleepitaksi (MBE) for å støtte og rotere wafere for å sikre jevn materialavsetning og effektiv reaksjon. Det er en nøkkelkomponent i halvlederbehandling. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

CVD TaC-beleggsdigel

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leder av CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible er basert på tantalkarbon (TaC) belegg. Tantalkarbonbelegget er jevnt dekket på overflaten av digelen gjennom prosess for kjemisk dampavsetning (CVD) for å forbedre varmebestandigheten og korrosjonsbestandigheten. Det er et materialverktøy spesielt brukt i ekstreme miljøer med høy temperatur. Velkommen til din videre konsultasjon.

Les mer Send forespørsel

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Som en profesjonell CVD TaC Coating Wafer Carrier-produktprodusent og fabrikk i Kina, er VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier et waferbærende verktøy spesielt designet for høytemperatur og korrosive miljøer i halvlederproduksjon. og CVD TaC Coating Wafer Carrier har høy mekanisk styrke, utmerket korrosjonsmotstand og termisk stabilitet, og gir den nødvendige garantien for produksjon av høykvalitets halvlederenheter. Dine ytterligere henvendelser er velkomne.

Les mer Send forespørsel

<1 2 3 4 5...7 >

Som en profesjonell SiC-epitaksiprosess produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar SiC-epitaksiprosess laget i Kina, kan du legge igjen en melding.