CVD TaC-beleggsdigel

TaC belegg Rotation Susceptor spiller en nøkkelrolle i høytemperaturavsetningsprosesser som CVD og MBE, og er en viktig komponent for wafer-behandling i halvlederproduksjon. Blant dem,TaC belegghar utmerket høytemperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet og kjemisk stabilitet, noe som sikrer høy presisjon og høy kvalitet under waferbehandling.

CVD TaC Coating Crucible består vanligvis av TaC Coating oggrafittsubstrat. Blant dem er TaC et keramisk materiale med høyt smeltepunkt med et smeltepunkt på opptil 3880°C. Den har ekstremt høy hardhet (Vickers hardhet opp til 2000 HV), kjemisk korrosjonsbestandighet og sterk oksidasjonsmotstand. Derfor er TaC Coating et utmerket høytemperaturbestandig materiale i halvlederprosesseringsteknologi.

Grafittsubstratet har god varmeledningsevne (termisk ledningsevne er ca. 21 W/m·K) og utmerket mekanisk stabilitet. Denne egenskapen bestemmer at grafitt blir et ideelt beleggsubstrat.

CVD TaC Coating Crucible brukes hovedsakelig i følgende halvlederbehandlingsteknologier:

Wafer produksjon: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible har utmerket motstand mot høye temperaturer (smeltepunkt opp til 3880°C) og korrosjonsmotstand, så den brukes ofte i viktige wafer-produksjonsprosesser som høytemperaturdampavsetning (CVD) og epitaksial vekst. Kombinert med produktets utmerkede strukturelle stabilitet i miljøer med ultrahøye temperaturer, sikrer det at utstyret kan fungere stabilt i lang tid under ekstremt tøffe forhold, og dermed effektivt forbedre produksjonseffektiviteten og kvaliteten til wafere.

Epitaksial vekstprosess: I epitaksiale prosesser som f.ekskjemisk dampavsetning (CVD)og molekylær stråleepitaksi (MBE), CVD TaC Coating Crucible spiller en nøkkelrolle i å bære. TaC-belegget kan ikke bare opprettholde den høye renheten til materialet under ekstrem temperatur og korrosiv atmosfære, men også effektivt forhindre forurensning av reaktantene på materialet og korrosjon av reaktoren, noe som sikrer nøyaktigheten av produksjonsprosessen og produktkonsistensen.

Som Kinas ledende CVD TaC Coating Crucible-produsent og leder, kan VeTek Semiconductor tilby skreddersydde produkter og tekniske tjenester i henhold til utstyret og prosesskravene dine. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt：

Fysiske egenskaper til TaC-belegg：

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible butikker: