Støtte for belegg av tantalkarbid

Hovedfunksjonen til VeTek SemiconductorTantalkarbid (TaC) beleggStøtte er å forbedrevarmebestandighet, slitestyrke og korrosjonsbestandighetav underlaget ved å belegge et lag med tantalkarbidbelegg, for å forbedre nøyaktigheten og påliteligheten til prosessen og forlenge levetiden til komponentene. Det er et beleggprodukt med høy ytelse som brukes innen halvlederbehandling.

VeTek Semiconductors tantalkarbidbeleggstøtte har en Mohs-hardhet på nesten 9~10, nest etter diamant. Den har ekstremt sterk slitestyrke og kan effektivt motstå overflateslitasje og støt under bearbeiding, og dermed effektivt forlenge levetiden til utstyrskomponenter. Kombinert med det høye smeltepunktet på ca. 3880°C, brukes det ofte til å belegge nøkkelkomponenter i halvlederutstyr, som overflatebelegg av støttestrukturer, varmebehandlingsutstyr, kamre eller pakninger i halvlederutstyr for å øke slitestyrken og høy temperatur. motstand.

På grunn av det ekstremt høye smeltepunktet til tantalkarbid på ca. 3880°C, i halvlederbehandlingsprosesser som f.eks.kjemisk dampavsetning (CVD)ogfysisk dampavsetning (PVD), TaC-belegg med sterk motstand mot høye temperaturer og kjemisk korrosjonsbestandighet kan effektivt beskytte utstyrskomponenter og forhindre korrosjon eller skade på underlaget i ekstreme miljøer, og gir effektiv beskyttelse for miljøer med høy temperatur i waferproduksjon. Denne funksjonen bestemmer også at VeTek Semiconductors tantalkarbidbeleggstøtte ofte brukes i etse- og korrosive prosesser.

Tantalkarbidbeleggstøtte har også funksjonen til å redusere partikkelforurensning. Under waferbehandling produserer overflateslitasje vanligvis partikkelforurensning, noe som påvirker produktkvaliteten til waferen. TaC Coatings ekstreme produktegenskaper på nær 9-10 Mohs hardhet kan effektivt redusere denne slitasjen, og dermed redusere dannelsen av partikler. Kombinert med TaC Coatings utmerkede termiske ledningsevne (ca. 21 W/m·K), kan den opprettholde god varmeledningsevne under høye temperaturforhold, og dermed forbedre utbyttet og konsistensen av wafer-produksjonen betydelig.

VeTek Semiconductors viktigste TaC Coating-produkter inkludererTaC Coating Heater, CVD TaC-beleggsdigel, TaC Coating Rotasjons SusceptorogTaC Coating Reservedel, etc., and support customized product services. VeTek Semiconductor is committed to providing excellent products and technical solutions for the semiconductor industry. We sincerely hope to become your long-term partner in China.

Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD TaC-belegg：