Hjem > Produkter > Tantalkarbidbelegg > SiC-epitaksiprosess > Tantalkarbid guidering
Tantalkarbid guidering
  • Tantalkarbid guideringTantalkarbid guidering

Tantalkarbid guidering

VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leder av Tantalum Carbide Guide Ring-produkter i Kina. Vår tantalkarbid (TaC) guidering er en høyytelses ringkomponent laget av tantalkarbid, som vanligvis brukes i halvlederbehandlingsutstyr, spesielt i høytemperatur og sterkt korrosive miljøer som CVD, PVD, etsing og diffusjon. VeTek Semiconductor er forpliktet til å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien, og tar gjerne imot dine ytterligere henvendelser.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTek SemiconductorTantalkarbidguide Ringer laget avgrafittogbelagt med tantalkarbid, en kombinasjon som utnytter de beste egenskapene til begge materialene for å sikre overlegen ytelse og lang levetid.


DeTaC beleggpå Tantalkarbidguideringen sikrer at den forblir kjemisk inert i de reaktive atmosfærene til SiC-krystallvekstovner, som ofte involverer gasser som hydrogen, argon og nitrogen. Denne kjemiske inertheten er avgjørende for å forhindre enhver forurensning av den voksende krystallen, noe som kan føre til defekter og redusert ytelse til de endelige halvlederproduktene. I tillegg gjør den termiske stabiliteten gitt av TaC-belegget at Tantalum Carbide Coating Guide Ring kan fungere effektivt ved de høye temperaturene som kreves forSiC krystallvekst, typisk over 2000°C.


I tillegg optimaliserer kombinasjonen av grafitt og TaC i tantalkarbidbeleggringen termisk styring i krystallvekstovnen. Grafitts høye termiske ledningsevne distribuerer effektivt varme, forhindrer hotspots og fremmer jevn krystallvekst. I mellomtiden tjener tantalkarbidbelegget som en termisk barriere, og beskytter grafittkjernen mot direkte eksponering for høye temperaturer og reaktive gasser. Denne synergien mellom kjernen og beleggsmaterialene resulterer i en styrering som ikke bare tåler de tøffe forholdene med SiC-krystallvekst, men som også forbedrer den generelle effektiviteten og kvaliteten på prosessen.


De mekaniske egenskapene til VeTek Semiconductor Tantalum Carbide reduserer slitasje på tantalkarbidbeleggringen i stor grad. Dette er avgjørende på grunn av den repeterende naturen tilkrystallvekstprosess, som utsetter føringsringen for hyppige termiske sykluser og mekaniske påkjenninger. Tantalkarbids hardhet og slitestyrke sikrer at føringsringen opprettholder sin strukturelle integritet og presise dimensjoner over lange perioder, noe som minimerer behovet for hyppige utskiftninger og reduserer nedetid i produksjonsprosessen.


VeTek SemiconductorTantalum Carbide Coating Guide Ring er en viktig komponent i halvlederindustrien, spesielt designet for vekst avSilisiumkarbidkrystaller. Designet utnytter styrken til grafitt og tantalkarbid for å levere eksepsjonell ytelse i miljøer med høy temperatur og høy stress. TaC-belegget sikrer kjemisk treghet, mekanisk holdbarhet og termisk stabilitet, som alle er avgjørende for å produsere SiC-krystaller av høy kvalitet. Ved å opprettholde sin integritet og funksjonalitet under ekstreme forhold, støtter styreringen effektiv og defektfri vekst av SiC-krystaller, og bidrar til utviklingen av høyeffekts og høyfrekvente halvlederenheter.


Tantalkarbid (TaC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 2Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 3Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 4


Fysiske egenskaper til TaC-belegg:


Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet
14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet
0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient
6,3*10-6/K
Hardhet (HK)
2000 HK
Motstand
1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet
<2500℃
Grafittstørrelsen endres
-10~-20um
Beleggtykkelse
≥20um typisk verdi (35um±10um)

Hot Tags: Tantalkarbidguidering, Kina, produsent, leverandør, fabrikk, tilpasset, kjøp, avansert, holdbar, laget i Kina
Relatert kategori
Send forespørsel
Gi gjerne din forespørsel i skjemaet nedenfor. Vi svarer deg innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept