Kina SiC-epitaksiprosess produsent, leverandør, fabrikk

VeTek Semiconductors unike karbidbelegg gir overlegen beskyttelse for grafittdeler i SiC Epitaxy Process for prosessering av krevende halvleder- og kompositthalvledermaterialer. Resultatet er forlenget levetid for grafittkomponenter, bevaring av reaksjonsstøkiometri, inhibering av urenhetsmigrering til epitaksi- og krystallvekstapplikasjoner, noe som resulterer i økt utbytte og kvalitet.

Våre tantalkarbid-belegg (TaC) beskytter kritiske ovns- og reaktorkomponenter ved høye temperaturer (opptil 2200 °C) mot varm ammoniakk, hydrogen, silisiumdamp og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har et bredt spekter av grafittbehandlings- og målefunksjoner for å møte dine tilpassede krav, slik at vi kan tilby et avgiftsbelagt belegg eller fullservice, med vårt team av ekspertingeniører klare til å designe den riktige løsningen for deg og din spesifikke applikasjon .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan tilby spesielle TaC-belegg for ulike komponenter og bærere. Gjennom VeTek Semiconductors bransjeledende belegningsprosess kan TaC-belegget oppnå høy renhet, høy temperaturstabilitet og høy kjemisk motstand, og dermed forbedre produktkvaliteten til krystall-Tac/GaN)- og EPL-lag, og forlenge levetiden til kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystallvekstkomponenter inkludert digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle sammenstillinger inkludert resistive varmeelementer, dyser, skjermringer og loddefester, GaN og SiC epitaksiale CVD-reaktorkomponenter inkludert waferbærere, satellittbrett, dusjhoder, hetter og sokler, MOCVD-komponenter.

Hensikt:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor)-mottaker

EPI-reseptor (SiC-epitaksiprosess)

TaC-belagt satellittsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating deler Halfmoon-deler med TaC-belegg

Sammenligning av SiC-belegg og TaC-belegg:

	SiC	TaC
Hovedtrekkene	Ultra høy renhet, utmerket plasmabestandighet	Utmerket høytemperaturstabilitet (høytemperaturprosesskonformitet)
Renhet	>99,9999 %	>99,9999 %
Tetthet (g/cm 3)	3.21	15
Hardhet (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15 000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk utvidelseskoeffisient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
applikasjon	Halvlederutstyr Keramisk jigg (fokusring, dusjhode, dummy wafer)	SiC Enkeltkrystallvekst, Epi, UV LED Utstyrsdeler

View as

Tantalkarbidbeleggsdeksel

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelegg i Kina. Vi fokuserer på å tilby tantalkarbidprodukter med høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vårt tantalkarbidbelagte deksel har utmerket ytelse og pålitelighet, og kan effektivt beskytte materialer i ekstremt høye temperaturer og korrosive miljøer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

TaC-belagt deflektorring

VeTek Semiconductors TaC-belagte deflektorring er en høyt spesialisert komponent designet for SiC-krystallvekstprosesser. TaC-belegget gir utmerket motstand mot høye temperaturer og kjemisk inerthet for å takle de høye temperaturene og korrosive miljøene under krystallvekstprosessen. Dette sikrer stabil ytelse og lang levetid for komponenten, og reduserer hyppigheten av utskifting og nedetid. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

TaC-belagt ring for SiC epitaksialreaktor

VeTek Semiconductor er en storskala TaC-belagt ring for SiC Epitaxial Reactor-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet, høy stabilitet, utmerket korrosjonsbestandighet, høy bindingsstyrke. frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE

VeTek Semiconductor er en storskala tantalkarbidbelagt halvmånedel for LPE-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Produktene våre tåler temperaturer over 2000 grader Celsius, forlenger levetiden til forbruksvarer. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Les mer Send forespørsel

Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelagte planetariske rotasjonsskiver i Kina. Vi har vært spesialisert på keramisk belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner innen Kina.

Les mer Send forespørsel

<...3 4 5 6 7 >

Som en profesjonell SiC-epitaksiprosess produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å møte de spesifikke behovene i din region eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar SiC-epitaksiprosess laget i Kina, kan du legge igjen en melding.