Tantalkarbid TaC-belagt halvmåne

VeTek Semiconductor er den ledende produsenten og leverandøren i Kina for Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi spesialiserte oss på FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Du er velkommen til å besøke fabrikken vår for videre diskusjon om et langsiktig samarbeid.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTek Semiconductor er en profesjonell China Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon produsent og leverandør. VeTek Semiconductor tilbyr Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, som spiller en støttende og transporterende rolle i den epitaksiale prosessen av silisiumkarbid, den støtter ikke bare underlaget, men gir også et flatt fundament, slik at epitaksien kan vokse jevnt på det.

Kvaliteten og ytelsen til halvmånedelen påvirker direkte kvaliteten og ytelsen til waferen under den epitaksiale silisiumkarbidprosessen. Derfor er design og valg av passende halvmånedel avgjørende for suksessen til SiC-epitaksialprosessen. Tantalkarbid TaC Coated Halfmoon laget av VeTek Semiconductor kan forbedre sin høye temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og slitestyrke, og forbedre stabiliteten og levetiden til halvmånekomponenten under vekstprosessen.

Parameter for tantalkarbidbelegget:

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet	14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet	0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient	6,3 10-6/K
Hardhet (HK)	2000 HK
Motstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafittstørrelsen endres	-10~-20um
Beleggtykkelse	≥20um typisk verdi (35um±10um)