Tantalkarbidbelagt chuck

VeTek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av tantalkarbidbelagt chuck i Kina. Vi har vært spesialisert på TaC-belegg i mange år. Våre produkter har høy renhet og høy temperaturbestandighet opp til 2000 ℃. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Send forespørsel

produktbeskrivelse

VeTek Semiconductor leverer høykvalitets tantalkarbidbelagt chuck, SiC-beleggsdeler med konkurransedyktig pris.Velkommen til å spørre oss.VeTek Semiconductor tantalkarbidbelagt chuck, spesielt designet for AIXTRON G10 MOCVD-systemet. Dette tilbehøret øker effektiviteten og kvaliteten i halvlederproduksjon, og gir enestående ytelse og pålitelighet.

Laget av materialer av høy kvalitet og produsert med presisjon, har chucken et grafittsubstrat belagt med CVD tantalkarbid (TaC). Dette belegget gir utmerket termisk stabilitet, høy renhet og motstand mot høye temperaturer. Det sikrer pålitelig ytelse under krevende forhold til MOCVD-prosesser.

Chucken kan tilpasses for å imøtekomme forskjellige halvlederwaferstørrelser, noe som gjør den egnet for ulike produksjonskrav. Den robuste konstruksjonen minimerer nedetid og vedlikeholdskostnader forbundet med waferbærere og susceptorer.

Med VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck, oppnår AIXTRON G10 MOCVD-systemet høyere effektivitet og overlegne resultater i halvlederproduksjon. Dens eksepsjonelle termiske stabilitet, kompatibilitet med forskjellige waferstørrelser og pålitelige ytelse gjør den til et viktig verktøy for å optimere produksjonseffektiviteten og oppnå fremragende resultater i det utfordrende MOCVD-miljøet.

Produktparameter for tantalkarbidbelagt chuck

Fysiske egenskaper til TaC-belegg
Tetthet	14,3 (g/cm³)
Spesifikk emissivitet	0.3
Termisk ekspansjonskoeffisient	6,3 10-6/K
Hardhet (HK)	2000 HK
Motstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafittstørrelsen endres	-10~-20um
Beleggtykkelse	≥20um typisk verdi (35um±10um)