TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductor er en profesjonell Kina TaC Coating Guide Ring, TaC coating Crucible, frøholder produsent og leverandør.

TaC-belegg Digel, frøholder og TaC-belegg guidering i SiC og AIN enkrystallovn ble dyrket ved PVT-metoden.

Når den fysiske damptransportmetoden (PVT) brukes til å fremstille SiC, er frøkrystallen i området med relativt lav temperatur, og SiC-råmaterialet er i området med relativt høy temperatur (over 2400 ℃). Råstoffdekomponeringen produserer SiXCy (hovedsakelig inkludert Si, SiC₂, Si₂C, etc.). Dampfasematerialet transporteres fra høytemperaturområdet til frøkrystallen i lavtemperaturområdet, og kjernener og vokser. For å danne en enkelt krystall. De termiske feltmaterialene som brukes i denne prosessen, slik som digel, strømningslederring, frøkrystallholder, bør være motstandsdyktig mot høy temperatur og vil ikke forurense SiC-råmaterialer og SiC-enkeltkrystaller. Tilsvarende må varmeelementene i veksten av AlN-enkeltkrystaller være motstandsdyktige mot Al-damp, N2-korrosjon, og må ha en høy eutektisk temperatur (og AlN) for å forkorte krystallfremstillingsperioden.

Det ble funnet at SiC og AlN fremstilt av TaC-belagte grafitt termiske feltmaterialer var renere, nesten ingen karbon (oksygen, nitrogen) og andre urenheter, færre kantdefekter, mindre resistivitet i hver region, og mikroporetettheten og etsegroptettheten var betydelig redusert (etter KOH-etsing), og krystallkvaliteten ble kraftig forbedret. I tillegg er vekttaphastigheten for TaC-digelen nesten null, utseendet er ikke-destruktivt, kan resirkuleres (levetid opptil 200 timer), kan forbedre bærekraften og effektiviteten til slike enkeltkrystallpreparater.

Produktparameter for TaC Coating Guide Ring:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: