TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductors TaC-belagte susceptor og ring fungerer sammen i LPE-silisiumkarbid-epitaksialvekstreaktoren:

Høytemperaturmotstand: TaC-beleggsmottakeren har utmerket motstand mot høye temperaturer, i stand til å motstå ekstreme temperaturer opp til 1500°C i LPE-reaktoren. Dette sikrer at utstyret og komponentene ikke deformeres eller blir skadet under langvarig drift.

Kjemisk stabilitet: TaC-beleggsmottakeren yter eksepsjonelt godt i det korrosive silisiumkarbidvekstmiljøet, og beskytter effektivt reaktorkomponentene mot korrosive kjemiske angrep, og forlenger dermed levetiden.

Termisk stabilitet: TaC-beleggsusceptoren har god termisk stabilitet, opprettholder overflatemorfologien og ruheten for å sikre jevnheten til temperaturfeltet i reaktoren, noe som er gunstig for høykvalitetsveksten av silisiumkarbid-epitaksiallagene.

Anti-kontaminering: Den glatte TaC-belagte overflaten og den overlegne TPD-ytelsen (Temperature Programmed Desorption) kan minimere akkumulering og adsorpsjon av partikler og urenheter inne i reaktoren, og forhindre forurensning av de epitaksiale lagene.

Oppsummert spiller den TaC-belagte susceptoren og ringen en kritisk beskyttende rolle i LPE-silisiumkarbid-epitaksialvekstreaktoren, og sikrer langsiktig stabil drift av utstyret og høykvalitetsvekst av epitaksiallagene.

Produktparameter for TaC Coating Susceptor:

Industrikjede:

Produksjonsbutikk