TaC-belagt grafittsusceptor

Du er velkommen til å komme til fabrikken vår VeTek Semiconductor for å kjøpe den siste salgs-, lavpris- og høykvalitets TaC Coated Graphite Susceptor. Vi ser frem til å samarbeide med deg.

Tantalkarbid keramisk materiale smeltepunkt opp til 3880 ℃, er et høyt smeltepunkt og god kjemisk stabilitet av forbindelsen, dets høytemperaturmiljø kan fortsatt opprettholde stabil ytelse, i tillegg har det også høy temperaturbestandighet, kjemisk korrosjonsbestandighet, god kjemisk og mekanisk kompatibilitet med karbonmaterialer og andre egenskaper, noe som gjør det til et ideelt beskyttelsesmateriale for grafittsubstrat. Tantalkarbidbelegget kan effektivt beskytte grafittkomponentene mot påvirkning av varm ammoniakk, hydrogen og silisiumdamp og smeltet metall i det tøffe bruksmiljøet, forlenge levetiden til grafittkomponentene betydelig og hemme migrering av urenheter i grafitten, sikre kvaliteten på epitaksi og krystallvekst. Den brukes hovedsakelig i våt keramisk prosess.

Kjemisk dampavsetning (CVD) er den mest modne og optimale forberedelsesmetoden for tantalkarbidbelegg på overflaten av grafitt.

CVD TaC-beleggingsmetode for TaC-belagt grafittsusceptor:

Belegningsprosessen bruker TaCl5 og propylen som henholdsvis karbonkilde og tantalkilde, og argon som bæregass for å bringe tantalpentakloriddamp inn i reaksjonskammeret etter høytemperaturgassing. Under måltemperaturen og -trykket blir dampen til forløpermaterialet adsorbert på overflaten av grafittdelen, og en rekke komplekse kjemiske reaksjoner som spaltning og kombinasjon av karbonkilde og tantalkilde oppstår. Samtidig er en rekke overflatereaksjoner som diffusjon av forløperen og desorpsjon av biprodukter også involvert. Til slutt dannes et tett beskyttende lag på overflaten av grafittdelen, som beskytter grafittdelen mot å være stabil under ekstreme miljøforhold. Bruksscenarioene for grafittmaterialer er betydelig utvidet.

Produktparameter for TaC Coated Graphite Susceptor:

Produksjonsbutikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: