VeTek semiconductor er en ledende produsent av tantalkarbidbeleggmaterialer for halvlederindustrien. Våre hovedprodukttilbud inkluderer CVD-tantalkarbidbeleggdeler, sintrede TaC-beleggsdeler for SiC-krystallvekst eller halvlederepitaksiprosess. Bestått ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontroll på kvalitet. VeTek Semiconductor er dedikert til å bli innovatør i tantalkarbidbeleggindustrien gjennom pågående forskning og utvikling av iterative teknologier.
Hovedproduktene erTantalkarbidbeleggsavlederring, TaC-belagt avledningsring, TaC-belagte halvmånedeler, Tantalkarbidbelagt planetrotasjonsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringer; TaC-belagt porøs grafitt; Tantalkarbidbelegg Grafittsusceptor; TaC-belagt guidering; TaC Tantalkarbidbelagt plate; TaC-belagt Wafer Susceptor; TaC belegg ring; TaC belegg grafittdeksel; TaC Coated Chunketc., renheten er under 5 ppm, kan møte kundens krav.
TaC-beleggsgrafitt lages ved å belegge overflaten av et grafittsubstrat med høy renhet med et fint lag tantalkarbid ved en proprietær prosess for kjemisk dampavsetning (CVD). Fordelen er vist på bildet nedenfor:
Tantalkarbidbelegget (TaC) har fått oppmerksomhet på grunn av dets høye smeltepunkt på opptil 3880°C, utmerket mekanisk styrke, hardhet og motstand mot termiske støt, noe som gjør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiske prosesser med høyere temperaturkrav, slik som Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiprosess. Den har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystallvekstprosessen.
●Temperaturstabilitet
●Ultra høy renhet
●Motstand mot H2, NH3, SiH4,Si
●Motstand mot termisk lager
●Sterk vedheft til grafitt
●Konform beleggdekning
● Størrelse opp til 750 mm diameter (den eneste produsenten i Kina når denne størrelsen)
● Induktiv varmemottaker
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Fysiske egenskaper til TaC-belegg | |
Tetthet | 14,3 (g/cm³) |
Spesifikk emissivitet | 0.3 |
Termisk ekspansjonskoeffisient | 6,3 10-6/K |
Hardhet (HK) | 2000 HK |
Motstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafittstørrelsen endres | -10~-20um |
Beleggtykkelse | ≥20um typisk verdi (35um±10um) |
Element | Atomprosent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gjennomsnittlig | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av TaC Coating Plate og andre TaC Coating reservedeler i Kina. TaC Coating brukes i dag hovedsakelig i prosesser som silisiumkarbid enkrystallvekst (PVT-metoden), epitaksialskive (inkludert silisiumkarbidepitaksi, LED-epitaksi), etc. Kombinert med den gode langtidsstabiliteten til TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate har blitt standarden for TaC Coating reservedeler. Vi ser frem til at du blir vår langsiktige partner.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor er en profesjonell produsent av GaN på SiC epi susceptor, CVD SiC belegg og CVD TAC COATING grafitt susceptor i Kina. Blant dem spiller GaN på SiC epi-susceptor en viktig rolle i halvlederbehandling. Gjennom sin utmerkede termiske ledningsevne, høytemperaturbehandlingsevne og kjemiske stabilitet, sikrer den høy effektivitet og materialkvalitet til GaN epitaksial vekstprosessen. Vi ser frem til din videre konsultasjon.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bærer er hovedsakelig designet for den epitaksiale prosessen med halvlederproduksjon. CVD TaC Coating-bærerens ultrahøye smeltepunkt, utmerket korrosjonsbestandighet og enestående termisk stabilitet bestemmer uunnværligheten til dette produktet i halvlederepitaksial prosess. Vi håper inderlig å bygge et langsiktig forretningsforhold med deg.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring er laget ved å påføre tantalkarbidbelegg på grafittdeler ved å bruke en svært avansert teknikk kalt kjemisk dampavsetning (CVD). Denne metoden er veletablert og tilbyr eksepsjonelle beleggegenskaper. Ved å bruke TaC Coating Guide Ring, kan levetiden til grafittkomponenter forlenges betydelig, bevegelsen av grafitturenheter kan undertrykkes, og SiC og AIN enkrystallkvaliteten kan opprettholdes pålitelig. Velkommen til å spørre oss.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductors TaC Coated Graphite Susceptor bruker kjemisk dampavsetning (CVD) metode for å forberede tantalkarbidbelegg på overflaten av grafittdeler. Denne prosessen er den mest modne og har de beste belegningsegenskapene. TaC Coated Graphite Susceptor kan forlenge levetiden til grafittkomponenter, hemme migrering av grafitturenheter og sikre kvaliteten på epitaksi. VeTek Semiconductor ser frem til din henvendelse.
Les merSend forespørselVeTek Semiconductor presenterer TaC Coating Susceptor, Med sitt eksepsjonelle TaC-belegg tilbyr denne susceptoren en rekke fordeler som skiller den fra konvensjonelle løsninger. TaC Coating Susceptor fra VeTek Semiconductor er sømløst integrert i eksisterende systemer og garanterer kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålitelige ytelse og høykvalitets TaC-belegg gir konsekvent eksepsjonelle resultater i SiC-epitaksiprosesser. Vi er forpliktet til å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser og ser frem til å være din langsiktige partner i Kina.
Les merSend forespørsel